一种微波等离子体源和远程微波等离子体装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710163982.X

申请日：

2017-03-20

公开(公告)号：

CN106686876A

公开(公告)日：

2017-05-17

发明(设计)人：

邬钦崇邬明旭全峰

申请人：

申请人地址：

518000 广东省深圳市南山区粤海街道科技园中区科苑路科兴科学园A1栋601

IPC主分类号：

H05H146

IPC分类号：

代理机构：

代理人：

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-06-09	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101726055906 IPC(主分类):H05H 1/46 专利申请号:201710163982X 申请日:20170320
2017-05-17	公开	公开

共 50 条

[1]

一种微波等离子体源和远程微波等离子体装置 [P].

邬钦崇 ;

邬明旭 ;

全峰 .

中国专利 :CN206790765U ,2017-12-22

[2]

微波等离子体源和等离子体处理装置 [P].

小松智仁 ;

池田太郎 ;

藤野丰 .

中国专利 :CN104717820B ,2015-06-17

[3]

微波等离子体源和等离子体处理装置 [P].

河西繁 .

中国专利 :CN101385129B ,2009-03-11

[4]

微波等离子体源和等离子体处理装置 [P].

池田太郎 ;

长田勇辉 .

中国专利 :CN102458032A ,2012-05-16

[5]

微波等离子体源 [P].

武洪臣 .

中国专利 :CN1317924A ,2001-10-17

[6]

微波等离子体源 [P].

国中均 .

中国专利 :CN111149438B ,2020-05-12

[7]

微波导入机构、微波等离子体源和微波等离子体处理装置 [P].

池田太郎 .

中国专利 :CN101971302B ,2011-02-09

[8]

微波导入机构、微波等离子体源和微波等离子体处理装置 [P].

池田太郎 ;

长田勇辉 ;

河西繁 ;

宫下大幸 .

中国专利 :CN102918932A ,2013-02-06

[9]

微波等离子体发生装置、微波等离子体处理装置和微波等离子体处理方法 [P].

中川清和 ;

宇佐美由久 .

日本专利 :CN119586328A ,2025-03-07

[10]

模块式微波等离子体源 [P].

菲利普·艾伦·克劳斯 ;

蔡泰正 .

中国专利 :CN113690125A ,2021-11-23

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