微波导入机构、微波等离子体源和微波等离子体处理装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200980108903.9

申请日：

2009-03-05

公开(公告)号：

CN101971302B

公开(公告)日：

2011-02-09

发明(设计)人：

池田太郎

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01L213065

IPC分类号：

H05H146

代理机构：

北京尚诚知识产权代理有限公司 11322

代理人：

龙淳

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-11-21	授权	授权
2018-03-27	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/3065 申请日:20090305 授权公告日:20121121 终止日期:20170305
2011-02-09	公开	公开
2011-03-23	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101059700625 IPC(主分类):H01L 21/3065 专利申请号:2009801089039 申请日:20090305

共 50 条

[1]

微波导入机构、微波等离子体源和微波等离子体处理装置 [P].

池田太郎 ;

长田勇辉 ;

河西繁 ;

宫下大幸 .

中国专利 :CN102918932A ,2013-02-06

[2]

微波等离子体源和等离子体处理装置 [P].

河西繁 .

中国专利 :CN101385129B ,2009-03-11

[3]

微波等离子体源和等离子体处理装置 [P].

小松智仁 ;

池田太郎 ;

藤野丰 .

中国专利 :CN104717820B ,2015-06-17

[4]

微波等离子体源和等离子体处理装置 [P].

池田太郎 ;

长田勇辉 .

中国专利 :CN102458032A ,2012-05-16

[5]

微波等离子体发生装置、微波等离子体处理装置和微波等离子体处理方法 [P].

中川清和 ;

宇佐美由久 .

日本专利 :CN119586328A ,2025-03-07

[6]

微波等离子体源 [P].

武洪臣 .

中国专利 :CN1317924A ,2001-10-17

[7]

微波等离子体源 [P].

国中均 .

中国专利 :CN111149438B ,2020-05-12

[8]

微波等离子体处理装置 [P].

川上総一郎 ;

金井正博 ;

新井孝至 ;

村上勉 .

中国专利 :CN1029992C ,1990-01-10

[9]

一种微波等离子体源和远程微波等离子体装置 [P].

邬钦崇 ;

邬明旭 ;

全峰 .

中国专利 :CN206790765U ,2017-12-22

[10]

一种微波等离子体源和远程微波等离子体装置 [P].

邬钦崇 ;

邬明旭 ;

全峰 .

中国专利 :CN106686876A ,2017-05-17

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