微波等离子体源和等离子体处理装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110316506.X

申请日：

2011-10-18

公开(公告)号：

CN102458032A

公开(公告)日：

2012-05-16

发明(设计)人：

池田太郎长田勇辉

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H05H146

IPC分类号：

代理机构：

北京尚诚知识产权代理有限公司 11322

代理人：

龙淳

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-04-29	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101714463204 IPC(主分类):H05H 1/46 专利申请号:201110316506X 申请公布日:20120516
2012-06-27	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101274711363 IPC(主分类):H05H 1/46 专利申请号:201110316506X 申请日:20111018
2012-05-16	公开	公开

共 50 条

[1]

微波等离子体源和等离子体处理装置 [P].

小松智仁 ;

池田太郎 ;

藤野丰 .

中国专利 :CN104717820B ,2015-06-17

[2]

微波等离子体源和等离子体处理装置 [P].

河西繁 .

中国专利 :CN101385129B ,2009-03-11

[3]

等离子体源和等离子体处理装置 [P].

池田太郎 ;

长田勇辉 ;

宫下大幸 ;

小野田裕之 ;

川上聪 .

中国专利 :CN115696713A ,2023-02-03

[4]

天线、包括天线的微波等离子体源、和等离子体处理装置 [P].

李永光 ;

朴龙均 ;

李东洙 ;

李尚宪 .

中国专利 :CN107454732B ,2017-12-08

[5]

微波等离子体发生装置、微波等离子体处理装置和微波等离子体处理方法 [P].

中川清和 ;

宇佐美由久 .

日本专利 :CN119586328A ,2025-03-07

[6]

微波导入机构、微波等离子体源和微波等离子体处理装置 [P].

池田太郎 .

中国专利 :CN101971302B ,2011-02-09

[7]

微波导入机构、微波等离子体源和微波等离子体处理装置 [P].

池田太郎 ;

长田勇辉 ;

河西繁 ;

宫下大幸 .

中国专利 :CN102918932A ,2013-02-06

[8]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

堀口贵弘 ;

冈信介 .

中国专利 :CN100536634C ,2006-11-15

[9]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

吹野康彦 ;

丸山智久 .

中国专利 :CN103839748A ,2014-06-04

[10]

微波等离子体处理装置及等离子体处理控制方法 [P].

大见忠弘 ;

平山昌树 ;

须川成利 ;

后藤哲也 .

中国专利 :CN1242656C ,2004-05-26

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