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含有特定共聚物的正型感光性树脂组合物
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202280050898.6
申请日：
2022-05-31
公开(公告)号：
CN117751327A
公开(公告)日：
2024-03-22
发明(设计)人：
今井翔太
安达勋
申请人：
日产化学株式会社
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
G03F7/023
IPC分类号：
H01L21/312
G03F7/004
C08F220/32
代理机构：
北京市中咨律师事务所 11247
代理人：
田欣;段承恩
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-04-09 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/023申请日:20220531 |
| 2024-03-22 | 公开 | 公开 |