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喷头组件以及基板处理装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202310948338.9
申请日：
2023-07-31
公开(公告)号：
CN117497449A
公开(公告)日：
2024-02-02
发明(设计)人：
张琼镐
尹炳浩
姜民旭
申请人：
TES股份有限公司
申请人地址：
韩国京畿道
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
代理机构：
北京钲霖知识产权代理有限公司 11722
代理人：
李英艳;玉昌峰
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-02-02 | 公开 | 公开 |
| 2024-02-23 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/67申请日:20230731 |