喷头组件以及基板处理装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411243027.3

申请日：

2024-09-05

公开(公告)号：

CN120236970A

公开(公告)日：

2025-07-01

发明(设计)人：

金宰焕朴玩哉李城吉丘峻宅

申请人：

细美事有限公司

申请人地址：

韩国忠清南道

IPC主分类号：

H01J37/32

IPC分类号：

H01L21/67

代理机构：

北京钲霖知识产权代理有限公司 11722

代理人：

李英艳;玉昌峰

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-07-01	公开	公开

共 50 条

[1]

喷头组件以及基板处理装置 [P].

张琼镐 ;

尹炳浩 ;

姜民旭 .

韩国专利 :CN117497449A ,2024-02-02

[2]

喷头组件以及基板处理装置 [P].

张琼镐 ;

尹炳浩 ;

姜民旭 .

韩国专利 :CN117497450A ,2024-02-02

[3]

喷头组件以及基板处理装置 [P].

金星渊 ;

金镐翼 ;

曹仁圭 .

韩国专利 :CN119340183A ,2025-01-21

[4]

喷头组件以及包括其的基板处理装置 [P].

金星渊 ;

金镐翼 ;

曹仁圭 ;

朴埈奭 .

韩国专利 :CN120231021A ,2025-07-01

[5]

基板处理装置以及基板处理方法 [P].

藤长徹志 ;

井堀敦仁 ;

松本昌弘 ;

谷典明 ;

岩井治宪 .

中国专利 :CN106715751B ,2017-05-24

[6]

基板处理装置以及基板处理方法 [P].

金新明 ;

金一 ;

李在勋 .

韩国专利 :CN118899241A ,2024-11-05

[7]

环形喷头及基板处理装置 [P].

深泽孝之 .

中国专利 :CN119411221A ,2025-02-11

[8]

喷头组件以及衣物处理设备 [P].

戚欢 ;

肖浩男 ;

陈墨 ;

刘振鹏 ;

成毛虎 .

中国专利 :CN223010834U ,2025-06-24

[9]

绝缘环组件以及基板处理装置 [P].

金成浩 ;

金南绪 ;

黄永铉 ;

全丞焕 ;

金惠玉 ;

姜斗怙 .

韩国专利 :CN118231214A ,2024-06-21

[10]

升降销组件以及基板处理装置 [P].

赵亨振 .

韩国专利 :CN120824249A ,2025-10-21

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