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喷头组件以及包括其的基板处理装置

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202411359106.0
申请日：
2024-09-27
公开(公告)号：
CN120231021A
公开(公告)日：
2025-07-01
发明(设计)人：
金星渊 金镐翼 曹仁圭 朴埈奭
申请人：
细美事有限公司
申请人地址：
韩国忠清南道
IPC主分类号：
C23C16/455
IPC分类号：
C23C16/458
代理机构：
北京钲霖知识产权代理有限公司 11722
代理人：
李英艳;玉昌峰
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-07-01 公开 公开
共 50 条
[1]
喷头组件以及基板处理装置 [P]. 
金星渊 ;
金镐翼 ;
曹仁圭 .
韩国专利 :CN119340183A ,2025-01-21
[2]
喷头组件以及基板处理装置 [P]. 
金宰焕 ;
朴玩哉 ;
李城吉 ;
丘峻宅 .
韩国专利 :CN120236970A ,2025-07-01
[3]
喷头组件以及基板处理装置 [P]. 
张琼镐 ;
尹炳浩 ;
姜民旭 .
韩国专利 :CN117497449A ,2024-02-02
[4]
喷头组件以及基板处理装置 [P]. 
张琼镐 ;
尹炳浩 ;
姜民旭 .
韩国专利 :CN117497450A ,2024-02-02
[5]
喷头组件和包括其的衬底处理装置 [P]. 
金善一 ;
成珍一 ;
金善骏 .
韩国专利 :CN120126991A ,2025-06-10
[6]
基板支承单元以及包括其的基板处理装置 [P]. 
朴埈奭 ;
郑哲镐 ;
李相起 .
韩国专利 :CN116219367B ,2025-10-17
[7]
基板支承单元以及包括其的基板处理装置 [P]. 
金局生 ;
郑完熙 ;
林度延 .
韩国专利 :CN120149250A ,2025-06-13
[8]
基板支承单元以及包括其的基板处理装置 [P]. 
朴埈奭 ;
成珍一 .
韩国专利 :CN121171967A ,2025-12-19
[9]
基板支撑组件及包括其的基板处理装置 [P]. 
卢载旻 ;
李主日 ;
朴健溶 .
中国专利 :CN112216646A ,2021-01-12
[10]
卡盘销组件以及包括其的基板支承装置以及液体处理装置 [P]. 
郑喆焕 .
中国专利 :CN114664695A ,2022-06-24
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