基板支撑组件及包括其的基板处理装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010516745.9

申请日：

2020-06-09

公开(公告)号：

CN112216646A

公开(公告)日：

2021-01-12

发明(设计)人：

卢载旻李主日朴健溶

申请人：

申请人地址：

荷兰阿尔梅勒

IPC主分类号：

H01L21687

IPC分类号：

H01L2167

代理机构：

北京市柳沈律师事务所 11105

代理人：

焦玉恒

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-07-15	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/687 申请日:20200609
2021-01-12	公开	公开

共 50 条

[1]

用于支撑基板的基板支撑组件和包括这种基板支撑组件的基板处理装置 [P].

洛克莎·雷迪 ;

莱内尔·欣特舒斯特 ;

苏哈斯·博斯基 ;

U·穆卡迪·南迦帕 .

美国专利 :CN223468434U ,2025-10-24

[2]

基板支撑模块及包括其的基板处理装置 [P].

梁承悦 ;

朴暻完 .

韩国专利 :CN117936451A ,2024-04-26

[3]

基板支撑组件及基板处理装置 [P].

李炫宗 ;

丁青焕 ;

南镐振 ;

李忠显 ;

权渔真 .

中国专利 :CN114551330A ,2022-05-27

[4]

基板支撑装置、包括其的基板处理系统及基板处理方法 [P].

金载烈 ;

徐钟锡 ;

金性洙 .

中国专利 :CN108022868B ,2018-05-11

[5]

基板支撑单元，热处理单元和包括其的基板处理装置 [P].

赵敏祐 ;

崔哲珉 ;

朴相旭 ;

姜湾圭 .

中国专利 :CN108122817B ,2018-06-05

[6]

支撑单元以及包括其的基板处理装置 [P].

李元行 ;

河刚来 .

中国专利 :CN104600019A ,2015-05-06

[7]

基板支承组件、包括其的基板处理装置和基板处理方法 [P].

金镇浩 ;

李昌镛 .

韩国专利 :CN120164838A ,2025-06-17

[8]

门组件及包括其的基板处理装置 [P].

金建昊 .

韩国专利 :CN118016562A ,2024-05-10

[9]

接地夹紧装置及包括其的基板支撑组件 [P].

郑哲镐 ;

崔晋荣 ;

李柱声 .

中国专利 :CN109690729A ,2019-04-26

[10]

基板支撑组件及包括其的探针台 [P].

黄仁郁 ;

郑相勋 .

中国专利 :CN108091583B ,2018-05-29

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