共 50 条
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门组件及包括其的基板处理装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202311474569.7
申请日：
2023-11-07
公开(公告)号：
CN118016562A
公开(公告)日：
2024-05-10
发明(设计)人：
金建昊
申请人：
圆益IPS股份有限公司
申请人地址：
韩国京畿道平泽市振威面振威产团路75
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
代理机构：
北京青松知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11384
代理人：
郑青松
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-05-28 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/67申请日:20231107 |
| 2024-05-10 | 公开 | 公开 |