防止基板下垂装置及包括其的基板处理装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201820878104.6

申请日：

2018-06-07

公开(公告)号：

CN208422891U

公开(公告)日：

2019-01-22

发明(设计)人：

李俊弧李在元郑基正李载鸿金炯剟

申请人：

申请人地址：

韩国京畿道安城市

IPC主分类号：

H01L21683

IPC分类号：

H01L2167

代理机构：

北京冠和权律师事务所 11399

代理人：

朱健;张国香

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-01-22	授权	授权

共 50 条

[1]

开闭装置及包括其的基板处理装置 [P].

韩容基 .

中国专利 :CN211654790U ,2020-10-09

[2]

基板搬送装置及包括其的基板处理装置 [P].

篠原敬 .

日本专利 :CN121107067A ,2025-12-12

[3]

基板支撑模块及包括其的基板处理装置 [P].

梁承悦 ;

朴暻完 .

韩国专利 :CN117936451A ,2024-04-26

[4]

基板支撑组件及包括其的基板处理装置 [P].

卢载旻 ;

李主日 ;

朴健溶 .

中国专利 :CN112216646A ,2021-01-12

[5]

喷嘴单元及包括其的基板处理装置 [P].

尹勤植 .

中国专利 :CN206661766U ,2017-11-24

[6]

基板处理装置及包括其的基板处理系统及基板处理方法 [P].

崔东旻 ;

都垈用 ;

朴奇洪 .

韩国专利 :CN117761976A ,2024-03-26

[7]

加热单元、包括其的基板处理装置及基板处理设备 [P].

徐钟锡 .

韩国专利 :CN117747471A ,2024-03-22

[8]

基板检查装置及包括其的基板处理系统 [P].

韩定勳 ;

权五烈 ;

林俊铉 ;

朴东珉 .

韩国专利 :CN117954351A ,2024-04-30

[9]

基板移送装置及包括其的基板处理系统 [P].

李气雨 ;

赵珳技 .

中国专利 :CN206541816U ,2017-10-03

[10]

基板传送单元及包括该其的基板处理装置 [P].

洪南基 ;

李殷珠 ;

金基勳 .

韩国专利 :CN118016577A ,2024-05-10

← 1 2 3 4 5 →