基板检查装置及包括其的基板处理系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202311383167.6

申请日：

2023-10-24

公开(公告)号：

CN117954351A

公开(公告)日：

2024-04-30

发明(设计)人：

韩定勳权五烈林俊铉朴东珉

申请人：

细美事有限公司

申请人地址：

韩国忠清南道

IPC主分类号：

H01L21/67

IPC分类号：

代理机构：

北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204

代理人：

王艳春;刘旭

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-04-30	公开	公开
2025-07-18	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/67申请日:20231024

共 50 条

[1]

基板处理装置及包括其的基板处理系统及基板处理方法 [P].

崔东旻 ;

都垈用 ;

朴奇洪 .

韩国专利 :CN117761976A ,2024-03-26

[2]

基板处理装置和包括其的基板处理系统 [P].

张原浩 ;

裵正龙 ;

金禹永 ;

李贤贞 ;

朴世真 ;

高镛璿 ;

韩东均 ;

沈雨宽 ;

金鹏 .

中国专利 :CN108257893A ,2018-07-06

[3]

基板移送装置及包括其的基板处理系统 [P].

李气雨 ;

赵珳技 .

中国专利 :CN206541816U ,2017-10-03

[4]

基板支撑装置、包括其的基板处理系统及基板处理方法 [P].

金载烈 ;

徐钟锡 ;

金性洙 .

中国专利 :CN108022868B ,2018-05-11

[5]

基板处理装置以及包括基板处理装置的基板处理系统 [P].

渡边和英 ;

小畠严贵 .

中国专利 :CN108695205A ,2018-10-23

[6]

基板处理装置及具有其的基板处理系统 [P].

张锡弼 ;

魏奎镕 ;

金亨俊 ;

白春金 ;

朴海允 .

中国专利 :CN102969214A ,2013-03-13

[7]

基板处理装置及具有其的基板处理系统 [P].

魏奎镕 .

中国专利 :CN103177924A ,2013-06-26

[8]

喷嘴检查方法、喷嘴检查装置及包括其的基板处理装置 [P].

孙尚郁 ;

玄龙卓 ;

金大星 .

韩国专利 :CN115923340B ,2025-11-18

[9]

基板处理装置及基板处理系统 [P].

平井孝典 .

日本专利 :CN120094810A ,2025-06-06

[10]

基板处理装置及基板处理系统 [P].

辻起久 ;

福本靖博 ;

芝康裕 .

中国专利 :CN110223933A ,2019-09-10

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