基板处理装置及具有其的基板处理系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210310555.7

申请日：

2012-08-28

公开(公告)号：

CN102969214A

公开(公告)日：

2013-03-13

发明(设计)人：

张锡弼魏奎镕金亨俊白春金朴海允

申请人：

申请人地址：

韩国京畿道

IPC主分类号：

H01J37317

IPC分类号：

H01L2167

代理机构：

北京青松知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11384

代理人：

郑青松;孙枫

法律状态：

著录事项变更

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-07-29	著录事项变更	著录事项变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101718699197 IPC(主分类):H01J 37/317 专利申请号:2012103105557 变更事项:发明人变更前:张锡弼;魏奎镕;金亨俊;白春金;朴海允变更后:张锡弼;魏奎镕;金亨俊;白春金;朴海允;金颍俊
2017-08-25	授权	授权
2016-08-17	专利申请权、专利权的转移	专利申请权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101737223465 IPC(主分类):H01J 37/317 专利申请号:2012103105557 登记生效日:20160725 变更事项:申请人变更前权利人:圆益控股股份有限公司变更后权利人:圆益IPS股份有限公司变更事项:地址变更前权利人:韩国京畿道平泽市漆怪街78-40(芝制洞) 变更后权利人:韩国京畿道平泽市振威面振威产团路75
2013-03-13	公开	公开
2014-07-30	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101584057927 IPC(主分类):H01J 37/317 专利申请号:2012103105557 申请日:20120828
2016-08-17	著录事项变更	著录事项变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101737223464 IPC(主分类):H01J 37/317 专利申请号:2012103105557 变更事项:申请人变更前:圆益IPS股份有限公司变更后:圆益控股股份有限公司变更事项:地址变更前:韩国京畿道变更后:韩国京畿道平泽市漆怪街78-40(芝制洞)
2022-08-12	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01J 37/317 申请日:20120828 授权公告日:20170825 终止日期:20210828

共 50 条

[1]

基板处理装置及具有其的基板处理系统 [P].

魏奎镕 .

中国专利 :CN103177924A ,2013-06-26

[2]

基板处理装置及包括其的基板处理系统及基板处理方法 [P].

崔东旻 ;

都垈用 ;

朴奇洪 .

韩国专利 :CN117761976A ,2024-03-26

[3]

基板处理装置及基板处理系统 [P].

平井孝典 .

日本专利 :CN120094810A ,2025-06-06

[4]

基板处理装置及基板处理系统 [P].

辻起久 ;

福本靖博 ;

芝康裕 .

中国专利 :CN110223933A ,2019-09-10

[5]

基板处理系统及基板处理装置 [P].

蔡熙成 ;

崔光洛 ;

权宁奎 .

中国专利 :CN208589417U ,2019-03-08

[6]

基板处理装置及基板处理系统 [P].

小畠严贵 ;

八木圭太 ;

渡边和英 ;

盐川阳一 ;

丸山彻 ;

高桥信行 .

中国专利 :CN111584355A ,2020-08-25

[7]

基板运送装置及具有其的基板处理系统 [P].

河先镐 ;

孙德铉 .

韩国专利 :CN113130361B ,2025-01-17

[8]

基板运送装置及具有其的基板处理系统 [P].

河先镐 ;

孙德铉 .

中国专利 :CN113130361A ,2021-07-16

[9]

基板处理装置、基板处理系统及基板处理方法 [P].

宫胜彦 .

中国专利 :CN107230652A ,2017-10-03

[10]

基板处理装置、基板处理系统、及基板处理方法 [P].

小畠严贵 ;

八木圭太 ;

盐川阳一 .

中国专利 :CN107851570A ,2018-03-27

← 1 2 3 4 5 →