基板运送装置及具有其的基板处理系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202011536417.1

申请日：

2020-12-23

公开(公告)号：

CN113130361B

公开(公告)日：

2025-01-17

发明(设计)人：

河先镐孙德铉

申请人：

细美事有限公司

申请人地址：

韩国忠清南道

IPC主分类号：

H01L21/677

IPC分类号：

H01L21/67

代理机构：

北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204

代理人：

王达佐;王艳春

法律状态：

授权

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-01-17	授权	授权

共 50 条

[1]

基板运送装置及具有其的基板处理系统 [P].

河先镐 ;

孙德铉 .

中国专利 :CN113130361A ,2021-07-16

[2]

基板处理装置及具有其的基板处理系统 [P].

张锡弼 ;

魏奎镕 ;

金亨俊 ;

白春金 ;

朴海允 .

中国专利 :CN102969214A ,2013-03-13

[3]

基板处理装置及具有其的基板处理系统 [P].

魏奎镕 .

中国专利 :CN103177924A ,2013-06-26

[4]

基板处理装置及包括其的基板处理系统及基板处理方法 [P].

崔东旻 ;

都垈用 ;

朴奇洪 .

韩国专利 :CN117761976A ,2024-03-26

[5]

基板支撑装置、包括其的基板处理系统及基板处理方法 [P].

金载烈 ;

徐钟锡 ;

金性洙 .

中国专利 :CN108022868B ,2018-05-11

[6]

基板检查装置及包括其的基板处理系统 [P].

韩定勳 ;

权五烈 ;

林俊铉 ;

朴东珉 .

韩国专利 :CN117954351A ,2024-04-30

[7]

基板移送装置及包括其的基板处理系统 [P].

李气雨 ;

赵珳技 .

中国专利 :CN206541816U ,2017-10-03

[8]

基板移送装置及包含其的基板处理系统 [P].

姜信载 ;

李气雨 ;

林钟逸 .

中国专利 :CN206255626U ,2017-06-16

[9]

基板处理装置和包括其的基板处理系统 [P].

张原浩 ;

裵正龙 ;

金禹永 ;

李贤贞 ;

朴世真 ;

高镛璿 ;

韩东均 ;

沈雨宽 ;

金鹏 .

中国专利 :CN108257893A ,2018-07-06

[10]

基板处理装置及基板处理系统 [P].

平井孝典 .

日本专利 :CN120094810A ,2025-06-06

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