基板支撑装置、包括其的基板处理系统及基板处理方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201711042198.X

申请日：

2017-10-31

公开(公告)号：

CN108022868B

公开(公告)日：

2018-05-11

发明(设计)人：

金载烈徐钟锡金性洙

申请人：

申请人地址：

韩国忠清南道

IPC主分类号：

H01L21687

IPC分类号：

H01L2167 G03F740 G03F738

代理机构：

北京市中伦律师事务所 11410

代理人：

石宝忠

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-05-11	公开	公开
2021-12-14	授权	授权
2018-06-05	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/687 申请日:20171031

共 50 条

[1]

基板处理装置及包括其的基板处理系统及基板处理方法 [P].

崔东旻 ;

都垈用 ;

朴奇洪 .

韩国专利 :CN117761976A ,2024-03-26

[2]

基板处理装置和包括其的基板处理系统 [P].

张原浩 ;

裵正龙 ;

金禹永 ;

李贤贞 ;

朴世真 ;

高镛璿 ;

韩东均 ;

沈雨宽 ;

金鹏 .

中国专利 :CN108257893A ,2018-07-06

[3]

基板检查装置及包括其的基板处理系统 [P].

韩定勳 ;

权五烈 ;

林俊铉 ;

朴东珉 .

韩国专利 :CN117954351A ,2024-04-30

[4]

基板移送装置及包括其的基板处理系统 [P].

李气雨 ;

赵珳技 .

中国专利 :CN206541816U ,2017-10-03

[5]

基板处理装置以及包括基板处理装置的基板处理系统 [P].

渡边和英 ;

小畠严贵 .

中国专利 :CN108695205A ,2018-10-23

[6]

基板支撑组件及包括其的基板处理装置 [P].

卢载旻 ;

李主日 ;

朴健溶 .

中国专利 :CN112216646A ,2021-01-12

[7]

基板处理装置、基板处理系统及基板处理方法 [P].

宫胜彦 .

中国专利 :CN107230652A ,2017-10-03

[8]

基板处理装置、基板处理系统、及基板处理方法 [P].

小畠严贵 ;

八木圭太 ;

盐川阳一 .

中国专利 :CN107851570A ,2018-03-27

[9]

基板处理装置、基板处理系统及基板处理方法 [P].

岩田敬次 ;

森田明 ;

高桥朋宏 ;

枝光建治 ;

杉冈真治 .

日本专利 :CN112017997B ,2024-03-22

[10]

基板处理方法、基板处理装置及基板处理系统 [P].

川端淳史 ;

宫川正章 ;

齐翀 .

日本专利 :CN120359596A ,2025-07-22

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