基板处理装置、基板处理系统及基板处理方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710098856.0

申请日：

2017-02-23

公开(公告)号：

CN107230652A

公开(公告)日：

2017-10-03

发明(设计)人：

宫胜彦

申请人：

申请人地址：

日本京都府京都市

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L2130

代理机构：

隆天知识产权代理有限公司 72003

代理人：

向勇

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-10-03	公开	公开
2021-12-17	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L 21/67 申请公布日:20171003
2017-11-03	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20170223

共 50 条

[1]

基板处理装置、基板处理系统和基板处理方法 [P].

刘福强 ;

王嘉琪 ;

史霄 ;

张康 ;

吴尚东 .

中国专利 :CN117650079A ,2024-03-05

[2]

基板处理装置、基板处理系统、及基板处理方法 [P].

小畠严贵 ;

八木圭太 ;

盐川阳一 .

中国专利 :CN107851570A ,2018-03-27

[3]

基板处理装置、基板处理系统及基板处理方法 [P].

岩田敬次 ;

森田明 ;

高桥朋宏 ;

枝光建治 ;

杉冈真治 .

日本专利 :CN112017997B ,2024-03-22

[4]

基板处理方法、基板处理装置及基板处理系统 [P].

川端淳史 ;

宫川正章 ;

齐翀 .

日本专利 :CN120359596A ,2025-07-22

[5]

基板处理装置、基板处理方法及基板处理系统 [P].

根本脩平 .

日本专利 :CN119816925A ,2025-04-11

[6]

基板处理装置、基板处理系统及基板处理方法 [P].

岩田敬次 ;

森田明 ;

高桥朋宏 ;

枝光建治 ;

杉冈真治 .

中国专利 :CN112017997A ,2020-12-01

[7]

基板处理装置、基板处理系统及基板处理方法 [P].

小畠严贵 ;

八木圭太 ;

渡边和英 ;

盐川阳一 ;

丸山彻 ;

高桥信行 .

中国专利 :CN106256016A ,2016-12-21

[8]

基板处理方法、基板处理装置及基板处理系统 [P].

渡边敏史 ;

山本晓 ;

町田优 .

中国专利 :CN108705383A ,2018-10-26

[9]

基板处理方法、基板处理系统及基板处理程序 [P].

贝濑精一 ;

岩渕纪之 ;

加藤茂昭 ;

中村博 ;

横内健 ;

柴田真理子 ;

小尾章 .

中国专利 :CN1779906A ,2006-05-31

[10]

基板处理装置、基板处理系统以及基板处理方法 [P].

井上正史 ;

田中孝佳 ;

岩田智巳 ;

谷口宽树 ;

新庄淳一 ;

高桥弘明 ;

樋口鲇美 ;

大迹明 ;

中野佑太 .

中国专利 :CN108257891B ,2018-07-06

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