基板处理装置及基板处理系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910074196.1

申请日：

2019-01-25

公开(公告)号：

CN110223933A

公开(公告)日：

2019-09-10

发明(设计)人：

辻起久福本靖博芝康裕

申请人：

申请人地址：

日本京都

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L21687

代理机构：

北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287

代理人：

陈甜甜

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-09-10	公开	公开
2019-10-08	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20190125

共 50 条

[1]

基板处理装置及基板处理系统 [P].

平井孝典 .

日本专利 :CN120094810A ,2025-06-06

[2]

基板处理系统及基板处理装置 [P].

蔡熙成 ;

崔光洛 ;

权宁奎 .

中国专利 :CN208589417U ,2019-03-08

[3]

基板处理装置及基板处理系统 [P].

小畠严贵 ;

八木圭太 ;

渡边和英 ;

盐川阳一 ;

丸山彻 ;

高桥信行 .

中国专利 :CN111584355A ,2020-08-25

[4]

基板处理装置、基板处理系统及基板处理方法 [P].

宫胜彦 .

中国专利 :CN107230652A ,2017-10-03

[5]

基板处理装置、基板处理系统、及基板处理方法 [P].

小畠严贵 ;

八木圭太 ;

盐川阳一 .

中国专利 :CN107851570A ,2018-03-27

[6]

基板处理装置、基板处理系统及基板处理方法 [P].

岩田敬次 ;

森田明 ;

高桥朋宏 ;

枝光建治 ;

杉冈真治 .

日本专利 :CN112017997B ,2024-03-22

[7]

基板处理方法、基板处理装置及基板处理系统 [P].

川端淳史 ;

宫川正章 ;

齐翀 .

日本专利 :CN120359596A ,2025-07-22

[8]

基板处理方法、基板处理装置及基板处理系统 [P].

渡边敏史 ;

山本晓 ;

町田优 .

中国专利 :CN108705383A ,2018-10-26

[9]

基板处理装置、基板处理系统及基板处理方法 [P].

岩田敬次 ;

森田明 ;

高桥朋宏 ;

枝光建治 ;

杉冈真治 .

中国专利 :CN112017997A ,2020-12-01

[10]

基板处理装置、基板处理系统及基板处理方法 [P].

小畠严贵 ;

八木圭太 ;

渡边和英 ;

盐川阳一 ;

丸山彻 ;

高桥信行 .

中国专利 :CN106256016A ,2016-12-21

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