基板支撑模块及包括其的基板处理装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202311388093.5

申请日：

2023-10-25

公开(公告)号：

CN117936451A

公开(公告)日：

2024-04-26

发明(设计)人：

梁承悦朴暻完

申请人：

圆益IPS股份有限公司

申请人地址：

韩国京畿道平泽市振威面振威产团路75

IPC主分类号：

H01L21/687

IPC分类号：

代理机构：

北京青松知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11384

代理人：

郑青松

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-05-14	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/687申请日:20231025
2024-04-26	公开	公开

共 50 条

[1]

基板支撑组件及包括其的基板处理装置 [P].

卢载旻 ;

李主日 ;

朴健溶 .

中国专利 :CN112216646A ,2021-01-12

[2]

基板处理模块及包括该基板处理模块的装置 [P].

金泰雨 ;

李相洙 ;

黄载勳 .

中国专利 :CN114300378A ,2022-04-08

[3]

基板支撑部件及包括该基板支撑部件的基板处理装置 [P].

李相起 .

中国专利 :CN109686680A ,2019-04-26

[4]

气体供给模块及包括其的基板处理装置 [P].

金刚熙 ;

金荣敏 ;

金重吉 ;

金贤 ;

郑玟煜 .

韩国专利 :CN120072609A ,2025-05-30

[5]

基板处理装置及包括其的基板处理系统及基板处理方法 [P].

崔东旻 ;

都垈用 ;

朴奇洪 .

韩国专利 :CN117761976A ,2024-03-26

[6]

基板支撑装置及具备其的基板处理装置 [P].

朴镕均 ;

徐泰旭 ;

李来一 .

中国专利 :CN104241073B ,2014-12-24

[7]

基板支撑单元，热处理单元和包括其的基板处理装置 [P].

赵敏祐 ;

崔哲珉 ;

朴相旭 ;

姜湾圭 .

中国专利 :CN108122817B ,2018-06-05

[8]

支撑单元以及包括其的基板处理装置 [P].

李元行 ;

河刚来 .

中国专利 :CN104600019A ,2015-05-06

[9]

支撑单元和包括其的基板处理装置 [P].

金泳俊 ;

李元行 .

中国专利 :CN105655222A ,2016-06-08

[10]

基板支撑单元、包括其的基板处理装置及其控制方法 [P].

具滋明 ;

安宗焕 ;

南信祐 ;

卢收练 .

中国专利 :CN107919263A ,2018-04-17

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