基板支撑部件及包括该基板支撑部件的基板处理装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811195803.1

申请日：

2018-10-15

公开(公告)号：

CN109686680A

公开(公告)日：

2019-04-26

发明(设计)人：

李相起

申请人：

申请人地址：

韩国忠清南道天安市西北区稷山邑四产团五街77

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L21687

代理机构：

北京钲霖知识产权代理有限公司 11722

代理人：

金丹;李强

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-05-21	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20181015
2019-04-26	公开	公开

共 50 条

[1]

基板支撑单元和包括该基板支撑单元的基板处理装置 [P].

李承桓 ;

权学龙 ;

金钟随 ;

金成培 ;

朴柱赫 .

:CN121137562A ,2025-12-16

[2]

基板支撑单元和包括该基板支撑单元的基板处理装置 [P].

李承桓 ;

权学龙 ;

金钟随 ;

金成培 ;

朴柱赫 .

中国专利 :CN111139457A ,2020-05-12

[3]

基板支撑单元及包含该基板支撑单元的基板处理装置 [P].

金炯俊 ;

卢载旻 .

中国专利 :CN104681387A ,2015-06-03

[4]

基板支撑部件用附件及基板支撑部件用附件的组装夹具 [P].

横井良宗 .

日本专利 :CN120240002A ,2025-07-01

[5]

用于支撑基板的基板支撑组件和包括这种基板支撑组件的基板处理装置 [P].

洛克莎·雷迪 ;

莱内尔·欣特舒斯特 ;

苏哈斯·博斯基 ;

U·穆卡迪·南迦帕 .

美国专利 :CN223468434U ,2025-10-24

[6]

基板支撑装置及具有该支撑装置的基板处理装置 [P].

李范述 ;

蔡济浩 ;

李盛玟 .

中国专利 :CN101919029A ,2010-12-15

[7]

基板支撑单元以及具有该支撑单元的基板处理装置 [P].

曹尚范 ;

郑炳晋 ;

朴明河 ;

朴重现 .

中国专利 :CN101796898B ,2010-08-04

[8]

基板支撑模块及包括其的基板处理装置 [P].

梁承悦 ;

朴暻完 .

韩国专利 :CN117936451A ,2024-04-26

[9]

基板支撑组件及包括其的基板处理装置 [P].

卢载旻 ;

李主日 ;

朴健溶 .

中国专利 :CN112216646A ,2021-01-12

[10]

基座、基板支撑部及包括基座和基板支撑部的基板处理装置 [P].

权秀泳 ;

朴相和 .

中国专利 :CN213878068U ,2021-08-03

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