基板支撑装置及具有该支撑装置的基板处理装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200980103196.4

申请日：

2009-01-16

公开(公告)号：

CN101919029A

公开(公告)日：

2010-12-15

发明(设计)人：

李范述蔡济浩李盛玟

申请人：

申请人地址：

韩国京畿道

IPC主分类号：

H01L21205

IPC分类号：

代理机构：

上海金盛协力知识产权代理有限公司 31242

代理人：

段迎春

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-05-08	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101582205147 IPC(主分类):H01L 21/205 专利申请号:2009801031964 申请公布日:20101215
2010-12-15	公开	公开
2011-02-02	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101035093334 IPC(主分类):H01L 21/205 专利申请号:2009801031964 申请日:20090116

共 50 条

[1]

基板支撑单元以及具有该支撑单元的基板处理装置 [P].

曹尚范 ;

郑炳晋 ;

朴明河 ;

朴重现 .

中国专利 :CN101796898B ,2010-08-04

[2]

基板支撑单元及包含该基板支撑单元的基板处理装置 [P].

金炯俊 ;

卢载旻 .

中国专利 :CN104681387A ,2015-06-03

[3]

基板支撑装置及基板处理装置 [P].

李大濬 ;

崔亨燮 ;

金容珍 .

中国专利 :CN104711542A ,2015-06-17

[4]

基板支撑装置及基板处理装置 [P].

王浩 .

中国专利 :CN206805049U ,2017-12-26

[5]

支撑销、基板支撑装置、基板处理装置 [P].

田中俊幸 ;

伊藤周 ;

富冈修一 .

中国专利 :CN104125717B ,2014-10-29

[6]

基板支撑装置及具备其的基板处理装置 [P].

朴镕均 ;

徐泰旭 ;

李来一 .

中国专利 :CN104241073B ,2014-12-24

[7]

基板支撑部件及包括该基板支撑部件的基板处理装置 [P].

李相起 .

中国专利 :CN109686680A ,2019-04-26

[8]

支撑装置及包括支撑装置的基板处理装置 [P].

李龙熙 ;

李相旼 ;

林义相 ;

尹堵铉 .

中国专利 :CN114695170A ,2022-07-01

[9]

支撑装置及包括支撑装置的基板处理装置 [P].

李龙熙 ;

李相旼 ;

林义相 ;

尹堵铉 .

韩国专利 :CN114695170B ,2025-09-30

[10]

基板处理装置和基板支撑装置 [P].

田中俊幸 .

中国专利 :CN104244692B ,2014-12-24

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