支撑销、基板支撑装置、基板处理装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310412407.0

申请日：

2013-09-11

公开(公告)号：

CN104125717B

公开(公告)日：

2014-10-29

发明(设计)人：

田中俊幸伊藤周富冈修一

申请人：

申请人地址：

日本静冈县磐田市

IPC主分类号：

H05K300

IPC分类号：

代理机构：

中原信达知识产权代理有限责任公司 11219

代理人：

穆德骏;谢丽娜

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-10-29	公开	公开
2014-12-03	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101589569559 IPC(主分类):H05K 3/00 专利申请号:2013104124070 申请日:20130911
2017-03-29	授权	授权

共 50 条

[1]

支撑销及基板处理装置 [P].

内海智仁 .

中国专利 :CN104704940A ,2015-06-10

[2]

基板处理装置及支撑销 [P].

佐藤雄亮 ;

清水豪 ;

吉田大介 ;

汤山明 ;

高桥诚 .

中国专利 :CN110100043A ,2019-08-06

[3]

支撑销基板支撑定位装置 [P].

朱文来 .

中国专利 :CN105782175A ,2016-07-20

[4]

基板支撑装置及基板处理装置 [P].

李大濬 ;

崔亨燮 ;

金容珍 .

中国专利 :CN104711542A ,2015-06-17

[5]

基板处理装置和基板支撑装置 [P].

田中俊幸 .

中国专利 :CN104244692B ,2014-12-24

[6]

基板支撑装置及基板处理装置 [P].

王浩 .

中国专利 :CN206805049U ,2017-12-26

[7]

基板支撑装置、热处理装置、基板支撑方法、热处理方法 [P].

S·普林格 .

中国专利 :CN112838029A ,2021-05-25

[8]

基板支撑装置、热处理装置、基板支撑方法、热处理方法 [P].

S·普林格 .

日本专利 :CN112838029B ,2025-01-14

[9]

基板支撑装置及具有该支撑装置的基板处理装置 [P].

李范述 ;

蔡济浩 ;

李盛玟 .

中国专利 :CN101919029A ,2010-12-15

[10]

基板支撑装置 [P].

朴天英 ;

金盛珍 ;

赵源锡 .

中国专利 :CN112242340A ,2021-01-19

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