支撑销及基板处理装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201380002893.7

申请日：

2013-10-04

公开(公告)号：

CN104704940A

公开(公告)日：

2015-06-10

发明(设计)人：

内海智仁

申请人：

申请人地址：

日本静冈县磐田市

IPC主分类号：

H05K1304

IPC分类号：

F16B1902

代理机构：

中原信达知识产权代理有限责任公司 11219

代理人：

穆德骏;谢丽娜

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-06-10	公开	公开
2015-07-08	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101616038994 IPC(主分类):H05K 13/04 专利申请号:2013800028937 申请日:20131004
2017-03-08	授权	授权

共 50 条

[1]

基板处理装置及支撑销 [P].

佐藤雄亮 ;

清水豪 ;

吉田大介 ;

汤山明 ;

高桥诚 .

中国专利 :CN110100043A ,2019-08-06

[2]

支撑销、基板支撑装置、基板处理装置 [P].

田中俊幸 ;

伊藤周 ;

富冈修一 .

中国专利 :CN104125717B ,2014-10-29

[3]

基板处理装置、基板处理系统及支撑销的配置更换方法 [P].

安陪裕滋 ;

高村幸宏 .

日本专利 :CN118676049A ,2024-09-20

[4]

基板升降销及基板处理装置 [P].

沈境植 .

中国专利 :CN104900571A ,2015-09-09

[5]

支撑销基板支撑定位装置 [P].

朱文来 .

中国专利 :CN105782175A ,2016-07-20

[6]

具有压力平衡机制之支撑销、基板载台及基板处理装置 [P].

金基烈 ;

刘闻敏 ;

杨华龙 ;

吴凤丽 .

中国专利 :CN113764329A ,2021-12-07

[7]

基板支撑装置及基板处理装置 [P].

李大濬 ;

崔亨燮 ;

金容珍 .

中国专利 :CN104711542A ,2015-06-17

[8]

基板支撑装置及基板处理装置 [P].

王浩 .

中国专利 :CN206805049U ,2017-12-26

[9]

支撑销的制造方法、支撑销、热处理装置以及基板烧成炉 [P].

大见忠弘 ;

村冈祐介 ;

宫路恭祥 .

中国专利 :CN101290902A ,2008-10-22

[10]

基板支撑组件及基板处理装置 [P].

李炫宗 ;

丁青焕 ;

南镐振 ;

李忠显 ;

权渔真 .

中国专利 :CN114551330A ,2022-05-27

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