基板处理装置及支撑销

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201880005312.8

申请日：

2018-10-23

公开(公告)号：

CN110100043A

公开(公告)日：

2019-08-06

发明(设计)人：

佐藤雄亮清水豪吉田大介汤山明高桥诚

申请人：

申请人地址：

日本神奈川县

IPC主分类号：

C23C1450

IPC分类号：

C23C1404 C23C1604 C23C16458 H01L2131 H01L5150 H05B3310

代理机构：

北京德琦知识产权代理有限公司 11018

代理人：

辛雪花;周艳玲

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-08-06	公开	公开
2019-08-30	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/50 申请日:20181023
2021-09-03	授权	授权

共 50 条

[1]

支撑销及基板处理装置 [P].

内海智仁 .

中国专利 :CN104704940A ,2015-06-10

[2]

支撑销、基板支撑装置、基板处理装置 [P].

田中俊幸 ;

伊藤周 ;

富冈修一 .

中国专利 :CN104125717B ,2014-10-29

[3]

基板处理装置、基板处理系统及支撑销的配置更换方法 [P].

安陪裕滋 ;

高村幸宏 .

日本专利 :CN118676049A ,2024-09-20

[4]

基板升降销及基板处理装置 [P].

沈境植 .

中国专利 :CN104900571A ,2015-09-09

[5]

支撑销基板支撑定位装置 [P].

朱文来 .

中国专利 :CN105782175A ,2016-07-20

[6]

具有压力平衡机制之支撑销、基板载台及基板处理装置 [P].

金基烈 ;

刘闻敏 ;

杨华龙 ;

吴凤丽 .

中国专利 :CN113764329A ,2021-12-07

[7]

基板支撑装置及基板处理装置 [P].

李大濬 ;

崔亨燮 ;

金容珍 .

中国专利 :CN104711542A ,2015-06-17

[8]

基板支撑装置及基板处理装置 [P].

王浩 .

中国专利 :CN206805049U ,2017-12-26

[9]

支撑销的制造方法、支撑销、热处理装置以及基板烧成炉 [P].

大见忠弘 ;

村冈祐介 ;

宫路恭祥 .

中国专利 :CN101290902A ,2008-10-22

[10]

基板支撑组件及基板处理装置 [P].

李炫宗 ;

丁青焕 ;

南镐振 ;

李忠显 ;

权渔真 .

中国专利 :CN114551330A ,2022-05-27

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