基座、基板支撑部及包括基座和基板支撑部的基板处理装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202022798026.9

申请日：

2020-11-27

公开(公告)号：

CN213878068U

公开(公告)日：

2021-08-03

发明(设计)人：

权秀泳朴相和

申请人：

申请人地址：

韩国京畿道

IPC主分类号：

H01L21687

IPC分类号：

H01L2167

代理机构：

北京鸿元知识产权代理有限公司 11327

代理人：

姜虎;陈英俊

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-08-03	授权	授权

共 50 条

[1]

基板安置部及包括该基板安置部的基板处理装置 [P].

金友镇 ;

高东均 ;

许明洙 ;

朴瑾禧 ;

朴瑄昱 .

中国专利 :CN111755356A ,2020-10-09

[2]

基板安置部及包括该基板安置部的基板处理装置 [P].

金友镇 ;

高东均 ;

许明洙 ;

朴瑾禧 ;

朴瑄昱 .

韩国专利 :CN111755356B ,2025-02-07

[3]

用于支撑基板的基板支撑组件和包括这种基板支撑组件的基板处理装置 [P].

洛克莎·雷迪 ;

莱内尔·欣特舒斯特 ;

苏哈斯·博斯基 ;

U·穆卡迪·南迦帕 .

美国专利 :CN223468434U ,2025-10-24

[4]

基板支撑单元和包括该基板支撑单元的基板处理装置 [P].

李承桓 ;

权学龙 ;

金钟随 ;

金成培 ;

朴柱赫 .

:CN121137562A ,2025-12-16

[5]

基板支撑单元和包括该基板支撑单元的基板处理装置 [P].

李承桓 ;

权学龙 ;

金钟随 ;

金成培 ;

朴柱赫 .

中国专利 :CN111139457A ,2020-05-12

[6]

一种基座支撑部及包括基座支撑部的外延设备 [P].

庞云玲 ;

姜勇 ;

傅时梁 .

中国专利 :CN216786305U ,2022-06-21

[7]

基板支撑部件及包括该基板支撑部件的基板处理装置 [P].

李相起 .

中国专利 :CN109686680A ,2019-04-26

[8]

基板处理装置及基板保持部 [P].

原大介 ;

八幡橘 ;

竹田刚 ;

大野健治 ;

山崎一彦 .

中国专利 :CN217280688U ,2022-08-23

[9]

基板支撑装置及基板处理装置 [P].

王浩 .

中国专利 :CN206805049U ,2017-12-26

[10]

基板支撑模块及包括其的基板处理装置 [P].

梁承悦 ;

朴暻完 .

韩国专利 :CN117936451A ,2024-04-26

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