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基板处理装置及基板保持部

被引：0
申请号：
CN201890001687.2
申请日：
2018-09-12
公开(公告)号：
CN217280688U
公开(公告)日：
2022-08-23
发明(设计)人：
原大介 八幡橘 竹田刚 大野健治 山崎一彦
申请人：
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
H01L21318
IPC分类号：
代理机构：
北京银龙知识产权代理有限公司 11243
代理人：
丁文蕴;杜嘉璐
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2022-08-23 授权 授权
共 50 条
[1]
基板保持部及基板处理装置 [P]. 
小林贤一 ;
真继阿沙葵 ;
柏木诚 ;
保科真穂 .
日本专利 :CN111791143B ,2024-07-05
[2]
基板保持装置及基板处理装置 [P]. 
池田文彦 .
中国专利 :CN206293422U ,2017-06-30
[3]
基板保持单元、基板保持构件、基板保持装置及基板处理装置 [P]. 
大川显 ;
锅岛健 .
中国专利 :CN112750746A ,2021-05-04
[4]
基板保持单元、基板保持构件、基板保持装置及基板处理装置 [P]. 
大川显 ;
锅岛健 .
日本专利 :CN112750746B ,2024-01-12
[5]
基板处理装置、基板保持装置及基板保持方法 [P]. 
水端稔 .
中国专利 :CN102903658B ,2013-01-30
[6]
基板保持装置及基板处理装置 [P]. 
藤内裕史 ;
棚田优祐 .
日本专利 :CN120413513A ,2025-08-01
[7]
基板保持装置及基板处理装置 [P]. 
村元僚 .
中国专利 :CN111095520A ,2020-05-01
[8]
基板保持装置及基板处理装置 [P]. 
村元僚 .
日本专利 :CN111095520B ,2024-06-07
[9]
基板保持装置及基板处理装置 [P]. 
棚田优祐 ;
藤内裕史 .
日本专利 :CN120473404A ,2025-08-12
[10]
基板保持装置及基板处理装置 [P]. 
柏木诚 .
中国专利 :CN112103237A ,2020-12-18
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