一种晶圆斜插检测装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202322420263.5

申请日：

2023-09-06

公开(公告)号：

CN220753369U

公开(公告)日：

2024-04-09

发明(设计)人：

王文章郭青江明徐福兴

申请人：

昆山基侑电子科技有限公司

申请人地址：

215000 江苏省苏州市昆山市周市镇黄浦江北路333号A-1厂房

IPC主分类号：

H01L21/66

IPC分类号：

H01L21/673

代理机构：

苏州晶晨知识产权代理事务所(普通合伙) 32617

代理人：

段啸冉

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省苏州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-04-09	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶圆表面检测装置及其晶圆检测设备 [P].

吴坤 ;

黄勇新 .

中国专利 :CN221078509U ,2024-06-04

[2]

一种晶圆边缘检测装置及其晶圆检测设备 [P].

吴坤 ;

钟小江 .

中国专利 :CN221262342U ,2024-07-02

[3]

一种晶圆斜插检测装置 [P].

黄光伟 ;

李立中 ;

林伟铭 ;

马跃辉 ;

陈智广 ;

庄永淳 ;

吴淑芳 ;

吴靖 .

中国专利 :CN110379735B ,2019-10-25

[4]

一种晶圆检测设备 [P].

吴坤 ;

王志铭 .

中国专利 :CN221078431U ,2024-06-04

[5]

一种晶圆检测装置 [P].

曹肖肖 ;

汪涛 ;

杨维军 ;

薄文慧 .

中国专利 :CN222883490U ,2025-05-16

[6]

一种晶圆加热装置及晶圆检测设备 [P].

谢世敏 ;

陶靖飞 .

中国专利 :CN217903076U ,2022-11-25

[7]

一种晶圆搬运装置及晶圆检测设备 [P].

曾凡贵 .

中国专利 :CN217359573U ,2022-09-02

[8]

晶圆检测设备 [P].

郭向荣 ;

谢越森 ;

袁波 ;

张毓盛 ;

徐大超 ;

郭靖 ;

张韶轩 .

中国专利 :CN214844892U ,2021-11-23

[9]

晶圆检测设备 [P].

王伟 ;

张淑荣 .

中国专利 :CN212845981U ,2021-03-30

[10]

一种晶圆清洗检测装置 [P].

胡斌杰 .

中国专利 :CN214223994U ,2021-09-17

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