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一种晶圆清洗检测装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202023347427.9
申请日：
2020-12-31
公开(公告)号：
CN214223994U
公开(公告)日：
2021-09-17
发明(设计)人：
胡斌杰
申请人：
申请人地址：
250000 山东省济南市高新区机场路7617号411-2-9室
IPC主分类号：
G01B1102
IPC分类号：
代理机构：
北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463
代理人：
张洋
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-09-17 | 授权 | 授权 |