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一种晶圆清洗用检测装置
被引：0
申请号：
CN202222497991.1
申请日：
2022-09-21
公开(公告)号：
CN218241774U
公开(公告)日：
2023-01-06
发明(设计)人：
楚磊
王明鑫
钱伟
申请人：
申请人地址：
244000 安徽省铜陵市义安区南海路
IPC主分类号：
H01L2166
IPC分类号：
代理机构：
铜陵市天成专利事务所(普通合伙) 34105
代理人：
李坤
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2023-01-06 | 授权 | 授权 |