一种适用于晶圆承载台上晶圆盒内晶圆的检测装置

被引：0

申请号：

CN202222731197.9

申请日：

2022-10-17

公开(公告)号：

CN218498021U

公开(公告)日：

2023-02-17

发明(设计)人：

顾阳洋林坚卢伟沈东民章健

申请人：

申请人地址：

215000 江苏省苏州市相城区元和万里路88号4号楼1楼104室

IPC主分类号：

H01L2166

IPC分类号：

H01L21683 H01L21673 H01L2167

代理机构：

北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙) 11357

代理人：

廖娜

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2023-02-17	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆承载装置 [P].

龙浩 ;

宋新星 ;

王建新 .

中国专利 :CN212277166U ,2021-01-01

[2]

晶圆承载装置 [P].

黄子朋 .

中国专利 :CN210837705U ,2020-06-23

[3]

一种晶圆清洗检测装置 [P].

胡斌杰 .

中国专利 :CN214223994U ,2021-09-17

[4]

一种晶圆盒内晶圆片旋转装置 [P].

童建 ;

李涛 ;

郭亚飞 .

中国专利 :CN118541787A ,2024-08-23

[5]

晶圆承载台、晶圆承载装置、晶圆转交方法及设备 [P].

王泽康 .

中国专利 :CN119694974A ,2025-03-25

[6]

晶圆蚀刻设备的晶圆承载装置 [P].

陈汉阳 .

中国专利 :CN2758971Y ,2006-02-15

[7]

晶圆承载装置及采用该晶圆承载装置的晶圆清洗装置 [P].

时旭 .

中国专利 :CN210272299U ,2020-04-07

[8]

晶圆盒内晶圆分布状态检测装置及检测方法 [P].

王金 ;

臧宇 ;

吴金马 .

中国专利 :CN115166848B ,2024-11-26

[9]

一种晶圆承载盘及晶圆承载装置 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN222462882U ,2025-02-11

[10]

一种晶圆承载装置和晶圆承载系统 [P].

孙少东 ;

周厉颖 ;

王丽荣 .

中国专利 :CN203950791U ,2014-11-19

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