一种晶圆承载装置和晶圆承载系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201420234328.5

申请日：

2014-05-08

公开(公告)号：

CN203950791U

公开(公告)日：

2014-11-19

发明(设计)人：

孙少东周厉颖王丽荣

申请人：

申请人地址：

100015 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M2楼2层

IPC主分类号：

H01L21673

IPC分类号：

代理机构：

北京路浩知识产权代理有限公司 11002

代理人：

郝瑞刚

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-11-19	授权	授权
2018-04-06	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):H01L 21/673 登记生效日:20180319 变更事项:专利权人变更前权利人:北方华创科技集团股份有限公司变更后权利人:北京北方华创微电子装备有限公司变更事项:地址变更前权利人:100015 北京市朝阳区酒仙桥东路1号变更后权利人:100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号
2018-04-06	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L 21/673 变更事项:专利权人变更前:北京七星华创电子股份有限公司变更后:北方华创科技集团股份有限公司变更事项:地址变更前:100015 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M2楼2层变更后:100015 北京市朝阳区酒仙桥东路1号

共 50 条

[1]

多功能晶圆承载装置和晶圆承载设备 [P].

田涵文 ;

章姣 ;

林义复 .

中国专利 :CN118610141A ,2024-09-06

[2]

多功能晶圆承载装置和晶圆承载设备 [P].

田涵文 ;

章姣 ;

林义复 .

中国专利 :CN118610141B ,2024-12-06

[3]

一种晶圆承载盘及晶圆承载装置 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN222462882U ,2025-02-11

[4]

晶圆承载装置 [P].

廖容呈 ;

张耀中 .

中国专利 :CN201859863U ,2011-06-08

[5]

晶圆承载装置 [P].

马彪 .

中国专利 :CN221275875U ,2024-07-05

[6]

晶圆承载装置 [P].

张猷治 .

中国专利 :CN2558077Y ,2003-06-25

[7]

晶圆承载装置和晶圆加工设备 [P].

林基明 ;

李孟轩 ;

林宏达 ;

翟虎 .

中国专利 :CN221885070U ,2024-10-22

[8]

晶圆承载装置 [P].

龙浩 ;

宋新星 ;

王建新 .

中国专利 :CN212277166U ,2021-01-01

[9]

晶圆承载装置 [P].

夏威 ;

辛君 ;

林宗贤 ;

吴龙江 .

中国专利 :CN208753292U ,2019-04-16

[10]

晶圆承载装置 [P].

李博 ;

简子杰 ;

冉鸿飞 .

中国专利 :CN206574698U ,2017-10-20

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