用于硅片高度测量的信号处理方法、装置、设备及介质

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202111113530.3

申请日：

2021-09-23

公开(公告)号：

CN113916132B

公开(公告)日：

2024-01-30

发明(设计)人：

裴雨多齐月静武志鹏李璟丁敏侠马会娟折昌美

申请人：

中国科学院微电子研究所

申请人地址：

100029 北京市朝阳区北土城西路3号

IPC主分类号：

G01B11/02

IPC分类号：

G01B11/03

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

王文思

法律状态：

授权

国省代码：

北京市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-01-30	授权	授权

共 50 条

[1]

用于硅片高度测量的信号处理方法、装置、设备及介质 [P].

裴雨多 ;

齐月静 ;

武志鹏 ;

李璟 ;

丁敏侠 ;

马会娟 ;

折昌美 .

中国专利 :CN113916132A ,2022-01-11

[2]

信号处理方法、信号处理装置、电子设备及存储介质 [P].

伍天意 ;

吴思彤 ;

郭国栋 .

中国专利 :CN114092773A ,2022-02-25

[3]

可穿戴设备、信号处理方法、信号处理装置及存储介质 [P].

杜鹏 .

中国专利 :CN111525940B ,2020-08-11

[4]

一种信号处理方法、装置、设备及存储介质 [P].

宋骁雄 ;

王大鹏 ;

张敏 .

中国专利 :CN117394930A ,2024-01-12

[5]

一种信号处理方法、装置、设备及存储介质 [P].

宋骁雄 ;

王大鹏 ;

张敏 .

中国专利 :CN117394930B ,2024-11-08

[6]

信号处理装置、信号处理方法、设备、系统及存储介质 [P].

南承勇 ;

李治雨 ;

姜圣熙 .

中国专利 :CN118300746A ,2024-07-05

[7]

信号处理方法、信号处理装置、电子设备及存储介质 [P].

齐园蕾 .

中国专利 :CN119513483A ,2025-02-25

[8]

信号处理方法、信号处理装置及存储介质 [P].

鹈饲训史 .

日本专利 :CN114765796B ,2025-08-08

[9]

信号处理方法、信号处理装置、电子设备及可读存储介质 [P].

盛雪锋 ;

李寒 .

中国专利 :CN114650072A ,2022-06-21

[10]

信号处理方法、信号处理装置、电子设备及可读存储介质 [P].

盛雪锋 ;

李寒 .

中国专利 :CN114650072B ,2024-04-09

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