用于硅片高度测量的信号处理方法、装置、设备及介质

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202111113530.3

申请日：

2021-09-23

公开(公告)号：

CN113916132B

公开(公告)日：

2024-01-30

发明(设计)人：

裴雨多齐月静武志鹏李璟丁敏侠马会娟折昌美

申请人：

中国科学院微电子研究所

申请人地址：

100029 北京市朝阳区北土城西路3号

IPC主分类号：

G01B11/02

IPC分类号：

G01B11/03

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

王文思

法律状态：

授权

国省代码：

北京市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-01-30	授权	授权

共 50 条

[21]

信号处理方法、装置、设备、介质和产品 [P].

盛锋 ;

鞠震宇 ;

孙庆 ;

司亚雄 ;

高源 ;

赵丹怀 ;

郑康 ;

张啸宇 .

中国专利 :CN118317431A ,2024-07-09

[22]

信号处理方法、信号处理装置、终端设备及存储介质 [P].

王卫平 .

中国专利 :CN113158915A ,2021-07-23

[23]

信号处理方法、信号处理装置、终端设备及存储介质 [P].

王卫平 .

中国专利 :CN113158915B ,2025-07-11

[24]

信号处理装置、信号处理方法及存储介质 [P].

高须素志 ;

工藤敏文 ;

滨地义之 ;

幸王贵则 .

日本专利 :CN114600470B ,2024-11-22

[25]

处理方法及装置、控制方法及装置、VR眼镜、设备、介质 [P].

何惠东 ;

韩鹏 ;

张浩 ;

陈丽莉 ;

姜倩文 ;

石娟娟 ;

杜伟华 .

中国专利 :CN115707430B ,2024-12-10

[26]

信号处理方法、设备及存储介质 [P].

吴宁航 ;

王宾 .

中国专利 :CN120712794A ,2025-09-26

[27]

信号处理装置、信号处理方法和计算机可读存储介质 [P].

立石和也 ;

高桥秀介 ;

高桥晃 ;

落合和树 ;

及川芳明 .

中国专利 :CN112237008B ,2021-01-15

[28]

信号处理方法、信号处理装置、医学设备、存储介质 [P].

姜立 ;

吴梦 ;

梁思阳 ;

王卿云 ;

李玉德 ;

李红燕 ;

韩立通 .

中国专利 :CN110623658B ,2019-12-31

[29]

信号处理方法、信号处理装置、设备、介质及产品 [P].

彭晨曦 ;

何力 ;

张晋华 ;

赵埔塬 .

中国专利 :CN118962741A ,2024-11-15

[30]

信号处理装置、传感器芯片、信号处理方法、设备及介质 [P].

杨哲宇 ;

祝夭龙 .

中国专利 :CN117848493B ,2024-05-24

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