用于硅片高度测量的信号处理方法、装置、设备及介质

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202111113530.3

申请日：

2021-09-23

公开(公告)号：

CN113916132B

公开(公告)日：

2024-01-30

发明(设计)人：

裴雨多齐月静武志鹏李璟丁敏侠马会娟折昌美

申请人：

中国科学院微电子研究所

申请人地址：

100029 北京市朝阳区北土城西路3号

IPC主分类号：

G01B11/02

IPC分类号：

G01B11/03

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

王文思

法律状态：

授权

国省代码：

北京市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-01-30	授权	授权

共 50 条

[41]

信号处理装置、方法、电子设备及计算机存储介质 [P].

贾朝阳 ;

沙永涛 ;

秦思 .

中国专利 :CN111292735A ,2020-06-16

[42]

测量信号处理方法、装置、电子设备及可读存储介质 [P].

路兆铭 ;

苏天杨 ;

初星河 ;

王鲁晗 ;

温向明 ;

李德鑫 .

中国专利 :CN112254755B ,2021-01-22

[43]

信号处理方法、信号处理装置、电子设备、计算机存储介质和计算机程序产品 [P].

陈志恒 .

中国专利 :CN120301422A ,2025-07-11

[44]

信号处理方法及信号处理装置、存储介质及耳机 [P].

刘益帆 ;

徐银海 .

中国专利 :CN112637742A ,2021-04-09

[45]

信号处理方法、设备及计算机可读存储介质 [P].

赵俞婷 ;

于洪伟 ;

陈华明 .

美国专利 :CN121218062A ,2025-12-26

[46]

信号处理装置、信号处理方法、信号处理终端及电子设备 [P].

朱马 ;

姚炜 .

中国专利 :CN114094992A ,2022-02-25

[47]

信号处理装置、方法、设备及存储介质 [P].

郭爱香 ;

亢鹤凯 ;

李凤阳 ;

李振 .

中国专利 :CN115567823A ,2023-01-03

[48]

信号处理装置、信号处理方法和计算机可读介质 [P].

立石和也 .

中国专利 :CN112075088B ,2020-12-11

[49]

信号处理方法及信号处理装置 [P].

野田晃浩 .

日本专利 :CN119654651A ,2025-03-18

[50]

信号处理装置及信号处理方法 [P].

八子基树 ;

清原孝行 ;

能泽克弥 .

日本专利 :CN117460947A ,2024-01-26

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