等离子体处理装置和等离子体处理方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202280060608.6

申请日：

2022-09-12

公开(公告)号：

CN117916863A

公开(公告)日：

2024-04-19

发明(设计)人：

山村崇志杨竣翔滨康孝

申请人：

东京毅力科创株式会社

申请人地址：

日本

IPC主分类号：

H01L21/3065

IPC分类号：

H01L21/205 H01L21/683 H05H1/46

代理机构：

北京尚诚知识产权代理有限公司 11322

代理人：

龙淳;池兵

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-04-19	公开	公开
2024-05-07	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/3065申请日:20220912

共 50 条

[1]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

舆水地盐 ;

山泽阳平 .

中国专利 :CN102522304A ,2012-06-27

[2]

等离子体处理方法和等离子体处理装置 [P].

道菅隆 ;

久保田绅治 .

日本专利 :CN111048389B ,2024-09-20

[3]

等离子体处理方法和等离子体处理装置 [P].

菱沼隼 ;

广瀬久 .

中国专利 :CN111681956A ,2020-09-18

[4]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

西野雅 ;

真壁正嗣 ;

长山将之 ;

半田达也 ;

绿川良太郎 ;

小林启悟 ;

仁矢铁也 .

中国专利 :CN103959447A ,2014-07-30

[5]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

辻本宏 .

日本专利 :CN119856573A ,2025-04-18

[6]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

松浦广行 .

中国专利 :CN110544613A ,2019-12-06

[7]

等离子体处理方法和等离子体处理装置 [P].

大矢欣伸 ;

田边明良 ;

安田吉纪 .

中国专利 :CN104599930A ,2015-05-06

[8]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

舆水地盐 ;

山泽阳平 .

中国专利 :CN101847558B ,2010-09-29

[9]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

松本直树 ;

早川欣延 ;

花冈秀敏 ;

儿玉法明 ;

舆水地盐 ;

岩田学 ;

田中谕志 .

中国专利 :CN101047113A ,2007-10-03

[10]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

久保田绅治 .

中国专利 :CN110323121A ,2019-10-11

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