等离子体处理方法和等离子体处理装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010143971.7

申请日：

2020-03-04

公开(公告)号：

CN111681956A

公开(公告)日：

2020-09-18

发明(设计)人：

菱沼隼广瀬久

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01L213065

IPC分类号：

H01J3732

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人：

刘新宇;李茂家

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-09-18	公开	公开
2021-12-28	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/3065 申请日:20200304

共 50 条

[1]

等离子体处理方法和等离子体处理装置 [P].

菱沼隼 ;

广瀬久 .

日本专利 :CN111681956B ,2024-07-12

[2]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

舆水地盐 ;

山泽阳平 .

中国专利 :CN102522304A ,2012-06-27

[3]

等离子体处理方法和等离子体处理装置 [P].

道菅隆 ;

久保田绅治 .

日本专利 :CN111048389B ,2024-09-20

[4]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

西野雅 ;

真壁正嗣 ;

长山将之 ;

半田达也 ;

绿川良太郎 ;

小林启悟 ;

仁矢铁也 .

中国专利 :CN103959447A ,2014-07-30

[5]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

大内淳子 ;

大岩德久 .

中国专利 :CN1503321A ,2004-06-09

[6]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

辻本宏 .

日本专利 :CN119856573A ,2025-04-18

[7]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

松浦广行 .

中国专利 :CN110544613A ,2019-12-06

[8]

等离子体处理方法和等离子体处理装置 [P].

大矢欣伸 ;

田边明良 ;

安田吉纪 .

中国专利 :CN104599930A ,2015-05-06

[9]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

舆水地盐 ;

山泽阳平 .

中国专利 :CN101847558B ,2010-09-29

[10]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

山村崇志 ;

杨竣翔 ;

滨康孝 .

日本专利 :CN117916863A ,2024-04-19

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