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密封门、半导体工艺设备及半导体加工设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202311601273.7
申请日：
2023-11-28
公开(公告)号：
CN117627508A
公开(公告)日：
2024-03-01
发明(设计)人：
常鸿超
田永安
王福金
王明伟
韩彬
高博
申请人：
北京七星华创集成电路装备有限公司
申请人地址：
101312 北京市顺义区天竺综合保税区竺园三街6号
IPC主分类号：
E06B5/12
IPC分类号：
H01L21/67
E06B3/92
E05F15/60
E05F15/665
E05F15/57
代理机构：
北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112
代理人：
彭瑞欣;王婷
法律状态：
公开
国省代码：
天津市
市辖区
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-03-01 | 公开 | 公开 |
| 2024-03-19 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):E06B 5/12申请日:20231128 |