密封门及半导体设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202420489112.7

申请日：

2024-03-13

公开(公告)号：

CN222649843U

公开(公告)日：

2025-03-21

发明(设计)人：

吴涛韩彬田永安

申请人：

北京七星华创集成电路装备有限公司

申请人地址：

101312 北京市顺义区天竺综合保税区竺园三街6号

IPC主分类号：

E06B5/14

IPC分类号：

H01L21/67 E06B3/70 E06B7/16 E05F15/56 E05D15/10

代理机构：

北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112

代理人：

彭瑞欣;王婷

法律状态：

授权

国省代码：

天津市市辖区

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-03-21	授权	授权

共 50 条

[1]

密封门及半导体设备 [P].

张景南 ;

巫碧勤 ;

彭俊昇 ;

万航 .

中国专利 :CN115749542B ,2025-05-02

[2]

密封门、半导体工艺设备及半导体加工设备 [P].

常鸿超 ;

田永安 ;

王福金 ;

王明伟 ;

韩彬 ;

高博 .

中国专利 :CN117627508A ,2024-03-01

[3]

密封门组件及半导体测试设备 [P].

林生财 .

中国专利 :CN222314992U ,2025-01-07

[4]

密封门装置和半导体设备 [P].

傅林坚 ;

刘毅 ;

陈聪 ;

孙菁阳 ;

谢晓云 .

中国专利 :CN220487403U ,2024-02-13

[5]

密封门冷却系统及半导体设备 [P].

王亦峰 ;

曹雷俊 ;

王雪领 .

中国专利 :CN222048579U ,2024-11-22

[6]

半导体工艺设备的密封门结构及半导体工艺设备 [P].

张玉涛 ;

赵宏宇 ;

李广义 .

中国专利 :CN213953395U ,2021-08-13

[7]

密封门机构及半导体工艺设备 [P].

龙占勇 ;

周亮 ;

金文凯 ;

王勤勤 ;

林佳继 .

中国专利 :CN223512505U ,2025-11-04

[8]

半导体密封装置及半导体设备 [P].

周敏玲 ;

谢婉扬 ;

闫晓晖 ;

张强强 .

中国专利 :CN223648526U ,2025-12-09

[9]

半导体工艺设备及其密封门机构 [P].

黄敏涛 ;

杨帅 ;

常江 .

中国专利 :CN119560414A ,2025-03-04

[10]

半导体工艺设备及其密封门机构 [P].

陈志兵 ;

王昭辉 ;

李旭刚 .

中国专利 :CN111681981A ,2020-09-18

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