半导体工艺设备及其密封门机构

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411748692.8

申请日：

2024-11-29

公开(公告)号：

CN119560414A

公开(公告)日：

2025-03-04

发明(设计)人：

黄敏涛杨帅常江

申请人：

北京北方华创微电子装备有限公司

申请人地址：

100176 北京市大兴区经济技术开发区文昌大道8号

IPC主分类号：

H01L21/67

IPC分类号：

代理机构：

北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315

代理人：

刘亚岐

法律状态：

公开

国省代码：

安徽省宣城市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-03-04	公开	公开
2025-03-21	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/67申请日:20241129

共 50 条

[1]

半导体工艺设备及其密封门机构 [P].

陈志兵 ;

王昭辉 ;

李旭刚 .

中国专利 :CN111681981A ,2020-09-18

[2]

密封门机构及半导体工艺设备 [P].

龙占勇 ;

周亮 ;

金文凯 ;

王勤勤 ;

林佳继 .

中国专利 :CN223512505U ,2025-11-04

[3]

半导体工艺设备的密封门结构及半导体工艺设备 [P].

张玉涛 ;

赵宏宇 ;

李广义 .

中国专利 :CN213953395U ,2021-08-13

[4]

密封门、半导体工艺设备及半导体加工设备 [P].

常鸿超 ;

田永安 ;

王福金 ;

王明伟 ;

韩彬 ;

高博 .

中国专利 :CN117627508A ,2024-03-01

[5]

密封门组件、传输腔室和半导体工艺设备 [P].

胡晨宇 ;

孙晋博 ;

刘耀琴 ;

王立卡 .

中国专利 :CN119400727A ,2025-02-07

[6]

半导体工艺设备及其密封连接组件 [P].

王笑非 ;

宋新丰 ;

李洪利 .

中国专利 :CN223427463U ,2025-10-10

[7]

半导体工艺设备 [P].

高天 .

中国专利 :CN120719269A ,2025-09-30

[8]

半导体工艺设备 [P].

茅兴飞 ;

杨纪鹏 ;

杨瑞 ;

李岩 ;

陈星 ;

金光浦 ;

王伟 ;

戴庚霖 ;

姚卫杰 ;

杨延铭 .

中国专利 :CN114823272A ,2022-07-29

[9]

半导体工艺设备 [P].

李本鑫 ;

蔡新晨 ;

于棚 ;

林轩宇 ;

滕天娇 ;

路晓妍 ;

苏欣 ;

周伟杰 ;

何源 ;

裴明远 .

中国专利 :CN221681197U ,2024-09-10

[10]

半导体工艺设备 [P].

张亚斌 ;

马宏帅 ;

王建峰 ;

屠楠 ;

赵宏宇 ;

王锐廷 .

中国专利 :CN120600662A ,2025-09-05

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