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一种防晶圆斜插的晶圆推片器治具
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202322035330.1
申请日：
2023-07-31
公开(公告)号：
CN220456373U
公开(公告)日：
2024-02-06
发明(设计)人：
陈自力
申请人：
厦门矽晶科技有限公司
申请人地址：
361115 福建省厦门市翔安区火炬高新区（翔安）产业区翔星路96号建业楼B座505室
IPC主分类号：
H01L21/677
IPC分类号：
H01L21/67
代理机构：
北京智行阳光知识产权代理事务所(普通合伙) 11738
代理人：
林霈貞
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-02-06 | 授权 | 授权 |