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一种防晶圆斜插的晶舟盒

被引：0
申请号：
CN202220658464.1
申请日：
2022-03-24
公开(公告)号：
CN216849875U
公开(公告)日：
2022-06-28
发明(设计)人：
冀然
申请人：
申请人地址：
266109 山东省青岛市城阳区城阳街道祥阳路106号青岛未来科技产业园6号厂房
IPC主分类号：
H01L21673
IPC分类号：
H01L2167
代理机构：
山东重诺律师事务所 37228
代理人：
王鹏里
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2022-06-28 授权 授权
共 50 条
[1]
便于抽检晶圆的晶舟盒 [P]. 
段克波 .
中国专利 :CN218039125U ,2022-12-13
[2]
新型晶圆晶舟 [P]. 
方廷宇 ;
游礼仲 ;
许忠信 ;
张峰 ;
李东冉 ;
唐守庄 .
中国专利 :CN214898360U ,2021-11-26
[3]
一种防晶圆斜插的晶圆推片器治具 [P]. 
张军伟 ;
谭中飞 .
中国专利 :CN216450600U ,2022-05-06
[4]
一种防晶圆斜插的晶圆推片器治具 [P]. 
陈自力 .
中国专利 :CN220456373U ,2024-02-06
[5]
晶舟盒 [P]. 
聂伟 ;
陈志远 .
中国专利 :CN216698313U ,2022-06-07
[6]
一种晶圆单盒、晶舟盒及湿法刻蚀装置 [P]. 
文成龙 ;
徐瑞林 ;
易熊军 ;
兰升友 .
中国专利 :CN215933544U ,2022-03-01
[7]
一种用于晶圆研磨机的晶舟盒防呆组件及其晶圆研磨机 [P]. 
彭利民 .
中国专利 :CN210272287U ,2020-04-07
[8]
晶圆测试机晶舟盒乘载平台 [P]. 
周崇铭 .
中国专利 :CN204204806U ,2015-03-11
[9]
一种安全放置晶圆及晶舟盒工作推车 [P]. 
吴灿煌 ;
陈圣育 ;
殷小罕 ;
张福亮 ;
王金永 .
中国专利 :CN216232432U ,2022-04-08
[10]
一种晶舟盒 [P]. 
蔡跃祥 ;
李辉 ;
高炳程 ;
刘东辉 ;
李振果 ;
张堂令 ;
谢洪喜 ;
王永忠 .
中国专利 :CN217822689U ,2022-11-15
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