一种安全放置晶圆及晶舟盒工作推车

被引：0

申请号：

CN202122403401.X

申请日：

2021-09-28

公开(公告)号：

CN216232432U

公开(公告)日：

2022-04-08

发明(设计)人：

吴灿煌陈圣育殷小罕张福亮王金永

申请人：

申请人地址：

230000 安徽省合肥市经济技术开发区云二路176号云海路工业园A栋

IPC主分类号：

B62B304

IPC分类号：

B62B500

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-04-08	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶圆铁环放置推车 [P].

徐学飞 ;

陈志远 ;

聂伟 ;

孟强 ;

王坤 ;

苏杨生 .

中国专利 :CN210882238U ,2020-06-30

[2]

金属晶舟盒固定装置及晶舟盒推车 [P].

欧阳婧 ;

徐波 ;

赵娟 .

中国专利 :CN204155913U ,2015-02-11

[3]

便于抽检晶圆的晶舟盒 [P].

段克波 .

中国专利 :CN218039125U ,2022-12-13

[4]

一种晶圆放置盒 [P].

谢焕枫 .

中国专利 :CN217468361U ,2022-09-20

[5]

一种晶圆单盒、晶舟盒及湿法刻蚀装置 [P].

文成龙 ;

徐瑞林 ;

易熊军 ;

兰升友 .

中国专利 :CN215933544U ,2022-03-01

[6]

一种晶舟交换机构及双腔三晶舟的晶圆加工设备 [P].

姜全昌 .

中国专利 :CN223390523U ,2025-09-26

[7]

一种防晶圆斜插的晶舟盒 [P].

冀然 .

中国专利 :CN216849875U ,2022-06-28

[8]

晶圆承载装置及晶舟 [P].

赵露露 ;

张学良 ;

聂艳群 ;

吴静銮 ;

高海林 .

中国专利 :CN206116362U ,2017-04-19

[9]

晶舟及晶圆承载装置 [P].

刘光淼 ;

李旋 ;

刘风 .

中国专利 :CN206992067U ,2018-02-09

[10]

晶舟及晶圆存放机构 [P].

方三军 ;

朱瑜杰 ;

陈思安 ;

徐萍 .

中国专利 :CN203103272U ,2013-07-31

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