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一种晶圆铁环放置推车

被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201921805345.9
申请日：
2019-10-25
公开(公告)号：
CN210882238U
公开(公告)日：
2020-06-30
发明(设计)人：
徐学飞 陈志远 聂伟 孟强 王坤 苏杨生
申请人：
申请人地址：
225128 江苏省扬州市邗江区高新技术产业开发区金荣路19号
IPC主分类号：
B62B304
IPC分类号：
B62B500
代理机构：
南京苏科专利代理有限责任公司 32102
代理人：
王峰
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2020-06-30 授权 授权
共 50 条
[1]
一种安全放置晶圆及晶舟盒工作推车 [P]. 
吴灿煌 ;
陈圣育 ;
殷小罕 ;
张福亮 ;
王金永 .
中国专利 :CN216232432U ,2022-04-08
[2]
一种晶圆放置机构 [P]. 
沙建德 .
中国专利 :CN218160307U ,2022-12-27
[3]
一种晶圆放置盒 [P]. 
谢焕枫 .
中国专利 :CN217468361U ,2022-09-20
[4]
一种晶圆放置结构 [P]. 
沙建德 .
中国专利 :CN216084859U ,2022-03-18
[5]
一种晶圆铁环规整对齐装置 [P]. 
胡伟雄 ;
李晓飞 ;
李明瑞 .
中国专利 :CN117855122A ,2024-04-09
[6]
一种晶圆升降放置机构 [P]. 
谢建 ;
邹建军 ;
曾嘉诚 .
中国专利 :CN221379335U ,2024-07-19
[7]
一种晶圆片铁环搬运翻转装置 [P]. 
郭易 ;
周鹏程 ;
刘乾峰 .
中国专利 :CN222637264U ,2025-03-18
[8]
一种用于检测晶圆铁环的装置 [P]. 
宋怀铚 .
中国专利 :CN223596771U ,2025-11-25
[9]
一种晶圆放置平台 [P]. 
黄晓辉 ;
周永昌 ;
董琪琪 .
中国专利 :CN216753858U ,2022-06-17
[10]
一种晶圆放置盒 [P]. 
何正鸿 ;
陶毅 ;
林金涛 .
中国专利 :CN220710270U ,2024-04-02
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