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一种晶舟交换机构及双腔三晶舟的晶圆加工设备

被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202422822517.0
申请日：
2024-11-19
公开(公告)号：
CN223390523U
公开(公告)日：
2025-09-26
发明(设计)人：
姜全昌
申请人：
拓荆科技股份有限公司
申请人地址：
110171 辽宁省沈阳市浑南区水家900号
IPC主分类号：
H01L21/677
IPC分类号：
代理机构：
深圳市精英创新知识产权代理有限公司 44740
代理人：
刘杰
法律状态：
授权
国省代码：
辽宁省 沈阳市
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-09-26 授权 授权
共 50 条
[1]
一种双腔三晶舟的晶圆加工设备及晶圆加工方法 [P]. 
姜全昌 .
中国专利 :CN118053790A ,2024-05-17
[2]
一种循环冷却净化装置及双腔三晶舟的晶圆加工设备 [P]. 
姜全昌 .
中国专利 :CN223390508U ,2025-09-26
[3]
晶舟及晶圆存放机构 [P]. 
方三军 ;
朱瑜杰 ;
陈思安 ;
徐萍 .
中国专利 :CN203103272U ,2013-07-31
[4]
一种晶舟结构与晶圆加工设备 [P]. 
徐海峰 ;
唐青青 ;
王悦 .
中国专利 :CN220306224U ,2024-01-05
[5]
一种晶圆切换机构及晶圆加工设备 [P]. 
王世星 ;
谢霄飞 ;
李凯 ;
杨军 ;
王康 ;
胡火军 .
中国专利 :CN223052132U ,2025-07-01
[6]
晶舟、拆装工具以及晶圆加工设备 [P]. 
金东盱 ;
李亭亭 ;
项金娟 ;
蒋浩杰 ;
丁云凌 ;
熊文娟 .
中国专利 :CN114351256A ,2022-04-15
[7]
晶圆转运机构及晶圆加工设备 [P]. 
金浩天 .
中国专利 :CN212161773U ,2020-12-15
[8]
晶圆传输机构及晶圆加工设备 [P]. 
金浩天 .
中国专利 :CN212380401U ,2021-01-19
[9]
一种石英舟与晶圆加工设备 [P]. 
黎重林 ;
李松松 ;
孙家训 ;
黄金健 .
中国专利 :CN223108863U ,2025-07-15
[10]
一种安全放置晶圆及晶舟盒工作推车 [P]. 
吴灿煌 ;
陈圣育 ;
殷小罕 ;
张福亮 ;
王金永 .
中国专利 :CN216232432U ,2022-04-08
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