一种晶圆切换机构及晶圆加工设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202421831344.2

申请日：

2024-07-31

公开(公告)号：

CN223052132U

公开(公告)日：

2025-07-01

发明(设计)人：

王世星谢霄飞李凯杨军王康胡火军

申请人：

江苏联赢半导体技术有限公司

申请人地址：

213399 江苏省常州市溧阳市昆仑街道泓叶路88号3幢2层

IPC主分类号：

H01L21/687

IPC分类号：

H01L21/68

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-07-01	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆转运机构及晶圆加工设备 [P].

金浩天 .

中国专利 :CN212161773U ,2020-12-15

[2]

晶圆传输机构及晶圆加工设备 [P].

金浩天 .

中国专利 :CN212380401U ,2021-01-19

[3]

晶圆夹持件、晶圆夹持机构及晶圆加工设备 [P].

金浩天 .

中国专利 :CN212161786U ,2020-12-15

[4]

一种晶圆运输机构、晶圆加工设备及晶圆运输方法 [P].

张琪 ;

符友银 ;

朱凯 .

中国专利 :CN119650501A ,2025-03-18

[5]

一种晶圆对中机构、晶圆传输装置及晶圆加工设备 [P].

刘远航 ;

赵德文 ;

王江涛 .

中国专利 :CN113130363A ,2021-07-16

[6]

一种晶圆对中机构、晶圆传输装置及晶圆加工设备 [P].

刘远航 ;

赵德文 ;

王江涛 .

中国专利 :CN113130363B ,2025-09-26

[7]

晶圆对准打光机构及晶圆加工设备 [P].

周鑫 ;

葛凡 ;

孙志超 ;

陈丛余 ;

王永强 .

中国专利 :CN220428880U ,2024-02-02

[8]

晶圆夹持件、晶圆夹持机构及晶圆加工设备 [P].

金浩天 .

中国专利 :CN113725143A ,2021-11-30

[9]

晶圆工装夹具及晶圆加工设备 [P].

周旭 ;

胡梅 ;

袁龙翔 .

中国专利 :CN222051737U ,2024-11-22

[10]

一种晶圆支撑装置、机构及晶圆加工设备 [P].

李海龙 ;

黄明策 ;

张闯闯 ;

吴凤丽 ;

关帅 .

中国专利 :CN118486610A ,2024-08-13

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