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一种晶圆对中机构、晶圆传输装置及晶圆加工设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201911420141.8
申请日：
2019-12-31
公开(公告)号：
CN113130363A
公开(公告)日：
2021-07-16
发明(设计)人：
刘远航
赵德文
王江涛
申请人：
申请人地址：
100084 北京市海淀区清华园1号
IPC主分类号：
H01L2168
IPC分类号：
H01L21677
代理机构：
代理人：
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-07-16 | 公开 | 公开 |
| 2021-10-15 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/68 申请日:20191231 |