一种晶圆对中机构、晶圆传输装置及晶圆减薄设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202022255649.1

申请日：

2020-10-12

公开(公告)号：

CN213184246U

公开(公告)日：

2021-05-11

发明(设计)人：

刘远航马旭王江涛赵德文

申请人：

申请人地址：

300350 天津市津南区咸水沽海河科技园聚兴道9号8号楼

IPC主分类号：

H01L2168

IPC分类号：

H01L21677 H01L2167 B24B2700 B24B722 B24B3734 B24B4100 B24B4106 B24B4712 B24B4722

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法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-05-11	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶圆对中机构、晶圆传输装置及晶圆减薄设备 [P].

刘远航 ;

马旭 ;

王江涛 ;

赵德文 .

中国专利 :CN112201607A ,2021-01-08

[2]

具有柔性连轴器的晶圆对中机构、传输装置及减薄设备 [P].

刘远航 ;

马旭 ;

王江涛 ;

赵德文 .

中国专利 :CN213184247U ,2021-05-11

[3]

晶圆搬运机构及晶圆减薄设备 [P].

万先进 ;

梁志远 ;

韦俊丞 ;

尤国振 ;

朱松 ;

张怀东 ;

锁志勇 ;

袁峰 ;

边逸军 .

中国专利 :CN222530406U ,2025-02-25

[4]

具有柔性连轴器的晶圆对中机构、传输装置及减薄设备 [P].

刘远航 ;

马旭 ;

王江涛 ;

赵德文 .

中国专利 :CN112201606A ,2021-01-08

[5]

一种晶圆对中机构、晶圆传输装置及晶圆加工设备 [P].

刘远航 ;

赵德文 ;

王江涛 .

中国专利 :CN113130363A ,2021-07-16

[6]

一种晶圆对中机构、晶圆传输装置及晶圆加工设备 [P].

刘远航 ;

赵德文 ;

王江涛 .

中国专利 :CN113130363B ,2025-09-26

[7]

晶圆加工传输机构及晶圆减薄机 [P].

万先进 ;

李帆 ;

尤国振 ;

朱松 ;

张怀东 ;

锁志勇 ;

袁峰 ;

边逸军 .

中国专利 :CN222514900U ,2025-02-21

[8]

晶圆清洗装置及晶圆减薄设备 [P].

万先进 ;

单保淋 ;

王冬冬 ;

田鑫 ;

朱松 ;

张怀东 ;

边逸军 .

中国专利 :CN220672529U ,2024-03-26

[9]

晶圆传输装置及晶圆加工设备 [P].

葛连朋 ;

杜煦 ;

周裕涵 ;

郭宝昆 ;

张军伟 .

中国专利 :CN221573890U ,2024-08-20

[10]

晶圆传输机构及晶圆加工设备 [P].

金浩天 .

中国专利 :CN212380401U ,2021-01-19

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