具有柔性连轴器的晶圆对中机构、传输装置及减薄设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202011085593.8

申请日：

2020-10-12

公开(公告)号：

CN112201606A

公开(公告)日：

2021-01-08

发明(设计)人：

刘远航马旭王江涛赵德文

申请人：

申请人地址：

300350 天津市津南区咸水沽海河科技园聚兴道9号8号楼

IPC主分类号：

H01L2168

IPC分类号：

H01L21677 H01L2167 B24B1922 B24B2902 B24B2700 B24B4100 B24B4722

代理机构：

代理人：

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-01-08	公开	公开
2021-01-26	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/68 申请日:20201012

共 50 条

[1]

具有柔性连轴器的晶圆对中机构、传输装置及减薄设备 [P].

刘远航 ;

马旭 ;

王江涛 ;

赵德文 .

中国专利 :CN213184247U ,2021-05-11

[2]

一种晶圆对中机构、晶圆传输装置及晶圆减薄设备 [P].

刘远航 ;

马旭 ;

王江涛 ;

赵德文 .

中国专利 :CN213184246U ,2021-05-11

[3]

一种晶圆对中机构、晶圆传输装置及晶圆减薄设备 [P].

刘远航 ;

马旭 ;

王江涛 ;

赵德文 .

中国专利 :CN112201607A ,2021-01-08

[4]

晶圆对中定位装置、传输装置、减薄设备及对中方法 [P].

路新春 ;

赵德文 ;

杨尧 ;

马旭 ;

靳凯强 .

中国专利 :CN119314929A ,2025-01-14

[5]

晶圆对中定位装置、传输装置、减薄设备及对中方法 [P].

路新春 ;

赵德文 ;

杨尧 ;

马旭 ;

靳凯强 .

中国专利 :CN119314929B ,2025-04-15

[6]

晶圆对中定位装置、传输装置、减薄设备及对中方法 [P].

路新春 ;

赵德文 ;

杨尧 ;

马旭 ;

靳凯强 .

中国专利 :CN120221484A ,2025-06-27

[7]

晶圆搬运机构及晶圆减薄设备 [P].

万先进 ;

梁志远 ;

韦俊丞 ;

尤国振 ;

朱松 ;

张怀东 ;

锁志勇 ;

袁峰 ;

边逸军 .

中国专利 :CN222530406U ,2025-02-25

[8]

切边晶圆传输装置的对中定位机构及切边晶圆传输装置 [P].

洪成都 ;

任中辛 .

中国专利 :CN116169078B ,2025-09-05

[9]

一种晶圆对中机构、晶圆传输装置及晶圆加工设备 [P].

刘远航 ;

赵德文 ;

王江涛 .

中国专利 :CN113130363A ,2021-07-16

[10]

一种晶圆对中机构、晶圆传输装置及晶圆加工设备 [P].

刘远航 ;

赵德文 ;

王江涛 .

中国专利 :CN113130363B ,2025-09-26

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