一种晶圆对中机构、晶圆传输装置及晶圆减薄设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202011085594.2

申请日：

2020-10-12

公开(公告)号：

CN112201607A

公开(公告)日：

2021-01-08

发明(设计)人：

刘远航马旭王江涛赵德文

申请人：

申请人地址：

300350 天津市津南区咸水沽海河科技园聚兴道9号8号楼

IPC主分类号：

H01L2168

IPC分类号：

H01L21677 H01L2167 B24B1922 B24B2902 B24B2700 B24B4100 B24B4722

代理机构：

代理人：

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-01-08	公开	公开
2021-01-26	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/68 申请日:20201012

共 50 条

[1]

一种晶圆对中机构、晶圆传输装置及晶圆减薄设备 [P].

刘远航 ;

马旭 ;

王江涛 ;

赵德文 .

中国专利 :CN213184246U ,2021-05-11

[2]

具有柔性连轴器的晶圆对中机构、传输装置及减薄设备 [P].

刘远航 ;

马旭 ;

王江涛 ;

赵德文 .

中国专利 :CN213184247U ,2021-05-11

[3]

具有柔性连轴器的晶圆对中机构、传输装置及减薄设备 [P].

刘远航 ;

马旭 ;

王江涛 ;

赵德文 .

中国专利 :CN112201606A ,2021-01-08

[4]

晶圆搬运机构及晶圆减薄设备 [P].

万先进 ;

梁志远 ;

韦俊丞 ;

尤国振 ;

朱松 ;

张怀东 ;

锁志勇 ;

袁峰 ;

边逸军 .

中国专利 :CN222530406U ,2025-02-25

[5]

一种晶圆对中机构、晶圆传输装置及晶圆加工设备 [P].

刘远航 ;

赵德文 ;

王江涛 .

中国专利 :CN113130363A ,2021-07-16

[6]

一种晶圆对中机构、晶圆传输装置及晶圆加工设备 [P].

刘远航 ;

赵德文 ;

王江涛 .

中国专利 :CN113130363B ,2025-09-26

[7]

晶圆传输装置及晶圆加工设备 [P].

葛连朋 ;

杜煦 ;

周裕涵 ;

郭宝昆 ;

张军伟 .

中国专利 :CN221573890U ,2024-08-20

[8]

晶圆减薄设备 [P].

慈荣广 ;

马旭 ;

赵德文 ;

路新春 .

中国专利 :CN120089631A ,2025-06-03

[9]

晶圆缓存机构及晶圆传输装置 [P].

孟亚东 ;

张庆 ;

王文广 ;

鲍伟成 ;

梁烁 ;

薛增辉 .

中国专利 :CN115188698B ,2022-12-09

[10]

晶圆清洗装置、清洗方法及晶圆减薄设备 [P].

许刚 ;

靳凯强 ;

慈荣广 ;

刘远航 ;

赵德文 .

中国专利 :CN119340200B ,2025-04-15

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