晶圆加工传输机构及晶圆减薄机

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202421249068.9

申请日：

2024-06-03

公开(公告)号：

CN222514900U

公开(公告)日：

2025-02-21

发明(设计)人：

万先进李帆尤国振朱松张怀东锁志勇袁峰边逸军

申请人：

武汉芯丰精密科技有限公司

申请人地址：

430040 湖北省武汉市东西湖区东柏路888号

IPC主分类号：

H01L21/677

IPC分类号：

H01L21/67 H01L21/687

代理机构：

北京品源专利代理有限公司 11332

代理人：

孙晶晶

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-02-21	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆加工减薄机 [P].

陈孟端 .

中国专利 :CN203165870U ,2013-08-28

[2]

晶圆减薄机微量进给机构 [P].

程晔 ;

孙庆平 .

中国专利 :CN223130280U ,2025-07-22

[3]

晶圆搬运机构及晶圆减薄设备 [P].

万先进 ;

梁志远 ;

韦俊丞 ;

尤国振 ;

朱松 ;

张怀东 ;

锁志勇 ;

袁峰 ;

边逸军 .

中国专利 :CN222530406U ,2025-02-25

[4]

晶圆减薄机台及晶圆减薄方法 [P].

余兴 .

中国专利 :CN110416126A ,2019-11-05

[5]

晶圆定位装置及晶圆减薄机 [P].

翟慧敏 ;

裴少帅 ;

苏亚青 ;

吕剑 .

中国专利 :CN112635383A ,2021-04-09

[6]

晶圆减薄机 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN309436279S ,2025-08-12

[7]

晶圆定心机构和具有其的晶圆减薄机 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN221696290U ,2024-09-13

[8]

晶圆清洗装置及晶圆减薄设备 [P].

万先进 ;

单保淋 ;

王冬冬 ;

田鑫 ;

朱松 ;

张怀东 ;

边逸军 .

中国专利 :CN220672529U ,2024-03-26

[9]

晶圆加工方法及减薄机 [P].

谢贵久 ;

袁晓春 ;

衣忠波 ;

王刚 .

中国专利 :CN117817443A ,2024-04-05

[10]

晶圆传输机构及晶圆加工设备 [P].

金浩天 .

中国专利 :CN212380401U ,2021-01-19

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