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一种晶舟结构与晶圆加工设备
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202321895241.8
申请日：
2023-07-18
公开(公告)号：
CN220306224U
公开(公告)日：
2024-01-05
发明(设计)人：
徐海峰
唐青青
王悦
申请人：
捷捷微电(南通)科技有限公司
申请人地址：
226000 江苏省南通市崇川区苏锡通科技产业园区井冈山路1号
IPC主分类号：
H01L21/673
IPC分类号：
代理机构：
北京超凡宏宇知识产权代理有限公司 11463
代理人：
杜杨
法律状态：
授权
国省代码：
江西省
吉安市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-01-05 | 授权 | 授权 |