晶舟及晶圆存放机构

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201320061526.1

申请日：

2013-02-01

公开(公告)号：

CN203103272U

公开(公告)日：

2013-07-31

发明(设计)人：

方三军朱瑜杰陈思安徐萍

申请人：

申请人地址：

100176 北京市大兴区北京经济技术开发区（亦庄）文昌大道18号

IPC主分类号：

H01L21673

IPC分类号：

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2023-02-17	专利权的终止	专利权有效期届满 IPC(主分类):H01L 21/673 申请日:20130201 授权公告日:20130731
2013-07-31	授权	授权

共 50 条

[1]

新型晶圆晶舟 [P].

方廷宇 ;

游礼仲 ;

许忠信 ;

张峰 ;

李东冉 ;

唐守庄 .

中国专利 :CN214898360U ,2021-11-26

[2]

晶圆承载装置及晶舟 [P].

赵露露 ;

张学良 ;

聂艳群 ;

吴静銮 ;

高海林 .

中国专利 :CN206116362U ,2017-04-19

[3]

晶舟及晶圆承载装置 [P].

刘光淼 ;

李旋 ;

刘风 .

中国专利 :CN206992067U ,2018-02-09

[4]

晶圆承载装置和晶舟 [P].

张学良 ;

高海林 .

中国专利 :CN204885123U ,2015-12-16

[5]

便于抽检晶圆的晶舟盒 [P].

段克波 .

中国专利 :CN218039125U ,2022-12-13

[6]

晶圆存放槽 [P].

许金海 .

中国专利 :CN201966184U ,2011-09-07

[7]

一种晶舟交换机构及双腔三晶舟的晶圆加工设备 [P].

姜全昌 .

中国专利 :CN223390523U ,2025-09-26

[8]

晶圆夹紧机构及晶圆清洗装置 [P].

万先进 ;

邬龙威 ;

朱松 ;

谢亚楠 ;

魏兴亮 ;

锁志勇 ;

边逸军 .

中国专利 :CN223390538U ,2025-09-26

[9]

晶圆夹持件、晶圆夹持机构及晶圆加工设备 [P].

金浩天 .

中国专利 :CN212161786U ,2020-12-15

[10]

晶圆转运机构及晶圆加工设备 [P].

金浩天 .

中国专利 :CN212161773U ,2020-12-15

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